Pfeiffer Vacuum

Ölfreie Wälzkolbenpumpstände

Pfeiffer Vacuum bietet ölfreie Wälzkolbenpumpstände an, die Wälzkolbenpumpen mit mehrstufigen Vorvakuumpumpen kombinieren. Das hohe Saugvermögen dieser Pumpstände ermöglicht niedrige Enddrücke.

Ölfreie Wälzkolbenpumpstände sind modernste Lösungen für die anspruchsvollen industriellen Prozesse z.B. der Halbleiterindustrie. Sind die Prozessanforderungen geringer, z.B. in Schleusenanwendungen oder als Vorpumpen für Sputterprozesse, können Pumpstände mit reduzierter Schutzausrüstung eingesetzt werden. Das Leistungsspektrum reicht dabei von Lösungen für kleine Vakuumkammern bis höchstem Durchsatz in der Solartechnologie und Displayherstellung.

Vorteile

  • Trockener, ölfreier Schöpfraum
  • Diese Lösungen bieten eine optimierte Pumpleistung und eine hohe Zuverlässigkeit

Anwendungen

  • Beschichtung
  • Metallurgie
  • Vakuumtrocknung
  • Entgasung
  • Photovoltaik
  • Forschung & Entwicklung
  • Chemie
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