Pfeiffer Vacuum

Turbopumpen

Turbopumpen - Die Tempomacher unter den Vakuumpumpen

Vakuum ist für die Herstellung vieler Hightech-Produkte des täglichen Lebens unerlässlich. Zahlreiche Anwendungen in Forschung und Industrie benötigen dabei ein Vakuum mit extrem niedrigem Absolutdruck (Hochvakuum). Als technologischer Standard haben sich weltweit Turbopumpen etabliert, die ihren Namen den artverwandten Turbinen verdanken. Schnelldrehende Rotoren erzeugen mit bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute die in der Anwendung benötigten Druckbedingungen. Auf diese Weise wird ein Vakuum im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich von bis zu 10-11 mbar erzeugt.

Turbopumpen für höchste Anforderungen

Pfeiffer Vacuum Turbopumpen sind im Saugvermögensbereich von 10 bis 2.700 l/s erhältlich. Die Pumpen überzeugen durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität. Bewährte Lagersysteme bieten optimale Zuverlässigkeit, wobei Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum zwei Lagerungstechniken unterscheiden: die Hybridlagerung, eine Kombination aus einem Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite; und die vollständige, aktive Magnetlagerung, mit der der Rotor gänzlich berührungs- und damit verschleißfrei gelagert wird.

Turbopumpen für höchste Anforderungen an perfekte Vakuumlösungen

Dank des ausgereiften Rotordesigns werden sowohl in puncto Saugvermögen, Vorvakuumverträglichkeit und Gasdurchsatz als auch bei der Kompression für leichte Gase sehr hohe Werte erreicht.

Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum versprechen Sicherheit

Moderne Turbopumpen erreichen Umfangsgeschwindigkeiten von über 400 m/s. Entsprechend hoch ist die kinetische Energie des Rotors, die im Falle einer Berührung von Rotor und Stator im Bruchteil einer Sekunde auf das Gehäuse und damit auf die Verankerung der Pumpe übertragen wird. Somit kommt der Stabilität der äußeren Hülle der Pumpe eine herausragende Bedeutung zu. Diese Stabilität wird theoretisch und experimentell überprüft. Die Turbopumpen werden nach UL 61010 beziehungsweise Semi S2 zertifiziert. Die Zertifizierung umfasst neben der mechanischen Sicherheit den Brandschutz und einen zweifachen Schutz gegen Überdrehzahl, den Pfeiffer Vacuum zusammen mit dem TÜV Rheinland entwickelt hat.

Optimaler Kundennutzen

Vakuum nimmt in Bezug auf den erfolgreichen Ablauf einer gesamten Produktion oftmals eine Schlüsselstellung ein. Die bei fehlerhaften Chargen oder Produktionsausfällen entstehenden Kosten belaufen sich je nach Anwendung schnell auf mehrere Millionen Euro. Umso wichtiger ist die maximale Zuverlässigkeit aller verbauten Komponenten. Turbopumpen erreichen heute oft eine Betriebsdauer von nicht selten bis zu 100.000 Stunden. Das entspricht einer ununterbrochenen Laufzeit von ca. elf Jahren. Während dieser Zeit sollten sie möglichst wenige geplante Unterbrechungen für Wartungs- oder Servicearbeiten verursachen.
Aus diesem Grund besitzen Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum erweiterte Diagnosefunktionen. Mit ihrer Hilfe wird die Wartung in Abhängigkeit vom Zustand der Pumpe vorgenommen. Anstehende Wartung werden vorangekündigt und damit für den Anwender planbar. In Verbindung mit der einmaligen Eigenschaft, dass der Lager- und Ölwechsel bei diesen Pumpen im Feld vorgenommen werden kann, ergibt dies eine höchstmögliche Verfügbarkeit. Die integrierte Antriebselektronik bei den Turbopumpen reduziert den Aufwand der Verkabelung deutlich. Modernste Antriebstechnologie minimiert den Energieverbrauch, die Ansteuerungsmöglichkeiten sind vielfältig. Die Konstruktion gemäß Schutzart IP 54 macht die Pumpen besonders industrietauglich. Die kompakte Bauweise ermöglicht ihre Integration auch bei beengten Platzverhältnissen. Um Kosten gering zu halten, kann für eine Pumpengröße unter verschiedenen Antriebselektroniken ausgewählt werden. Und auch vor dem Gewicht hat die Entwicklung nicht haltgemacht: Eine Turbopumpe mit einem Saugvermögen von 250 l/s wiegt nur noch 6 kg. Das breite Anwendungsspektrum der Pfeiffer Vacuum Turbopumpen umfasst nicht nur Analytik, Vakuumprozess und Halbleitertechnik, sondern auch Beschichtung, Forschung & Entwicklung sowie industrielle Anwendungen.

Anwendungen

Bei der Herstellung vieler Produkte des täglichen Lebens und in vielen Bereichen der technischen Forschung spielt die Vakuumtechnik eine entscheidende Rolle. Dabei ist die Turbopumpe für die Erzeugung von extrem reinen Prozessbedingungen von entscheidender Bedeutung.

Beispiele für Anwendungen findet man in vielfältigen Bereichen:

  • Analytik (Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie)
  • Halbleiterindustrie (elektron. Bauelemente, integrierte Schaltkreise (IC), Solarzellen)
  • Optische/Glas-Industrie (Wärmeschutz-, Antireflex-, Reflex-, optische Filterschichten)
  • Beschichtungstechnologie (Oberflächenschutz, dekorative Schichten, Displays, Bildschirme)
  • Vakuummetallurgie (Vakuumlöten, Vakuumsintern, Vakuumlegierungen, Ofenbau)
  • Lecksuchtechnik (Vakuumanlagen, Kfz-Tanks, Airbagpatronen, Verpackungen)
  • Forschungseinrichtungen (Elementarteilchenphysik, Fusionsforschung, Laseranwendung)
  • Leuchtmittelindustrie (Lampenherstellung)

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