Pfeiffer Vacuum

HiPace® 300 C mit TC 400, DN 100 ISO-K

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Übersicht
  • Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 245 l/s für N2
  • Integrierte Antriebselektronik TC 400
  • Ideal für Beschichtung und Halbleiterapplikationen
  • Mit integrierter Wasserkühlung für maximalen Gasdurchsatz
  • Flexibel durch Einsatz von bis zu 4 Zubehörteilen
  • Ideal für schnelle Zyklen
  • Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
  • Korrosivgasversion

Produktansicht

PM P03 906
Bestellnummer: PM P03 906
Abbildung ähnlich
Technische Daten
Anschlussflansch (Ausgang) DN 16 ISO-KF/G ¼"
Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K
Antriebselektronik mit TC 400
Betriebsspannung 24 (± 5 %) V DC
Drehzahl ± 2 % 60.000 rpm | 60.000 min-1
Drehzahl variabel 35 - 100 %
Einbaulage Standard (0°-90°)
Enddruck gemäß PNEUROP < 1 · 10-7 hPa | < 7,5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
Flutanschluss G 1/8"
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Ar 4,4 hPa l/s | 3,3 Torr l/s | 4,4 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für H2 > 50 hPa l/s | > 37,5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für He > 20 hPa l/s | > 15 Torr l/s | > 20 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für N2 17 hPa l/s | 12,75 Torr l/s | 17 mbar l/s
Gewicht 6,4 kg | 14,11 lb
Hochlaufzeit 1,2 min
Kompressionsverhältnis für Ar > 1 · 107
Kompressionsverhältnis für H2 3 · 102
Kompressionsverhältnis für He 2,2 · 104
Kompressionsverhältnis für N2 > 1 · 106
Korrosivgasversion JA
Kühlart, optional Luft
Kühlart, Standard Wasser
Kühlwassertemperatur 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
Kühlwasserverbrauch 50 l/h
Lagerung Hybrid
Partikelanfall JA
Saugvermögen für Ar 250 l/s
Saugvermögen für H2 125 l/s
Saugvermögen für He 220 l/s
Saugvermögen für N2 245 l/s
Schnittstellen RS-485, Remote
Schutzart IP54
Vorvakuum max. für N2 1 hPa | 0,75 Torr | 1 mbar
Zulässiges Magnetfeld max. 5,5 mT
Zubehör
Netzkabel
RS-485 Zubehör
USB RS-485 Konverter (PM 061 207 -T)
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Kupplung M12 für RS-485 (PM 061 270 -X)
Produkt anfragen
Adapter/Verbindungen TC 400/1200 und TM 700
Dämpfungskörper
Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung
Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung und integriertem Splitterschutz
Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung und integriertem Schutzgitter
Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet und Klammerschrauben
Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet, Splitterschutz und Klammerschrauben
Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutzgitter und Klammerschrauben
Zubehör zum Fluten mit Kleinflansch, G 1/8", Schläuche, Trockenvorlage
Schwenkverschraubung (PM 016 787 -T)
Produkt anfragen
Schwenkverschraubung, klein (PM 143 877 -T)
Produkt anfragen
Anzeige- und Bediengeräte
Zubehör für DCU/HPU
Zubehör RS-485
Netzteil für Wand/Normschienenmontage
Netzteil 19" Teileinschub 3HE mit Frontplatte
Verbindungskabel
Relaisboxen geeignet für TC 110, TC 400 und TCP 350
Wandbefestigungssatz
Frontplattensatz als Ersatzteil
Adapter und Steuerkabel
Verlängerungskabel
Schnittstellenkabel
Geschirmte Relaisboxen geeignet für TC 110/TC 400 mit PB, TC 1200 und TM 700
DCU mit integriertem Netzteil
Vorvakuumsicherheitsventile
Flutventil (Stromlos geschlossen)
Luftkühlungen (ungeschirmt)
Luftkühlungen 115/230 V
Sperrgasventil geschirmt (Stromlos geschlossen)
Sperrgasdrossel
Stromausfallfluter (Stromlos offen)
Drucksensoren
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, 6-kt Schrauben
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, 6-kt Schrauben
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, 6-kt Schrauben
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, Stiftschrauben
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, Stiftschrauben
Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, Stiftschrauben
Sperrgasüberwachung
Maßbild

Massbild-TIM-RS

Kennlinie

Kennlinie-TIM-RS-1

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Datei Typ Sprache Datum Dateigröße Aktion
Datenblatt PDF DE 19.09.2017 ~ 601 KB Herunterladen
Stepfile STP DE 23.06.2010 ~ 2,5 MB Herunterladen

Datei Typ Sprache Datum Dateigröße Aktion
Betriebsanleitung TC 400, Antriebselektronik für HiPace (PT0203BDE_R) PDF DE 03.11.2016 ~ 2,7 MB Herunterladen
Betriebsanleitung HiPace 300 C (PT0201BDE_F) PDF DE 03.05.2016 ~ 4,2 MB Herunterladen
Software TurboViewer ZIP DE 17.06.2015 ~ 29,9 MB Herunterladen
Software Pfeiffer Vacuum LabView Treiber 2014 ZIP DE 07.10.2016 ~ 2,2 MB Herunterladen

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