ATH 500 M | Pfeiffer Vacuum

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 350 l/s für N₂
Anschlussflansch DN 100 ISO-F
Kompakte, integrierte Antriebselektronik
Einbau in allen Lagen
Profibus, wassergekühlt, unbeheizt
Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

Produktansicht

Anschlussflansch (Ausgang)	DN 25 ISO-KF
Anschlussflansch (Eingang)	DN 100 ISO-F
Antriebselektronik	Integrierte Antriebselektronik
Betriebsspannung	48 (± 5 %) V DC
Drehzahl ± 2 %	50.000 rpm \| 50.000 min^-1
Einbaulage	Alllagen
Enddruck	< 1 · 10^-8 hPa \| < 7,5 · 10^-9 Torr \| < 1 · 10^-8 mbar
Gasdurchsatz für Ar	42,3 hPa l/s \| 31,73 Torr l/s \| 42,3 mbar l/s
Gasdurchsatz für H₂	> 169 hPa l/s \| > 126,75 Torr l/s \| > 169 mbar l/s
Gasdurchsatz für He	> 169 hPa l/s \| > 126,75 Torr l/s \| > 169 mbar l/s
Gasdurchsatz für N₂	67,6 hPa l/s \| 50,7 Torr l/s \| 67,6 mbar l/s
Gewicht	17 kg \| 37,48 lb
Hochlaufzeit	< 2 min
Kompressionsverhältnis für Ar	> 8 · 10⁶
Kompressionsverhältnis für H₂	> 2 · 10²
Kompressionsverhältnis für He	> 1 · 10⁴
Kompressionsverhältnis für N₂	> 2 · 10⁷
Kühlart, optional	Luft
Kühlart, Standard	Wasser
Kühlwassertemperatur	15-25 °C \| 59-77 °F \| 288-298 K
Kühlwasserverbrauch	1 l/min
Lagerung	Magnetgelagert
Leistungsaufnahme bei Enddruck	100 W
Saugvermögen für Ar	320 l/s
Saugvermögen für H₂	170 l/s
Saugvermögen für He	310 l/s
Saugvermögen für N₂	350 l/s
Saugvermögensklasse	500 l/s
Schnittstellen	Profibus
Vorvakuum max. für N₂	2,6 hPa \| 1,95 Torr \| 2,6 mbar