Pfeiffer Vacuum

Ansteuerung Vorvakuumpumpe

Die HiPace Turbopumpen erlauben die sinnvolle Ansteuerung von Vorpumpen. Pumpstandskontrolle erfolgt via TC 110, TC 400, TC 1200 und TM 700 sowie TCP 350. Parametereinstellung mit DCU. Die Prozessanpassung erfolgt im Intervallbetrieb.

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