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Mehrstufige Wälzkolbenpumpe A4X Serie

A4X Serie

Ölfreie A4X Pumpen für anspruchsvollste Prozesse
Anspruchsvollste Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie stellen immer neue Herausforderungen an Vakuumpumpen. Die A4X Serie von Pfeiffer Vacuum basiert auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und ist vollständig kompatibel mit den Pumpen der Vorgängerserien. Sie haben die Wahl zwischen vier Pumpenlösungen mit einem Saugvermögen von 160 bis 1.800 m3/h.

Vorteile

  • Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbentechnologie, effiziente Motoren und reduzierten Einsatz von elektrischen Heizungen
  • Korrosionsbeständige Materialien erhöhen die Betriebsdauer
  • Großer Temperaturbereich schützt die Pumpen vor Ablagerungen von Nebenprodukten und Kondensation
  • Lange Betriebsdauer zwischen Wartungen und geringe Betriebskosten
  • Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)Semi S2-0712 und UL 61010 kompatibel

 

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik & LED

 

Für anspruchsvollste Prozesse die optimale Lösung
Ausgestattet mit allen technologischen Merkmalen und Vorteilen der A4H Serie, sind die A4X Pumpen zusätzlich aus neuen, extrem korrosionsresistenten Materialien gefertigt. So wird die Betriebsdauer im Vergleich zu den Modellen der A4H Serie deutlich erhöht – in manchen anspruchsvollen Anwendungen gar verdoppelt. Die stark reduzierten Betriebskosten zeigen deutlich, dass die trockene A4X Serie die beste Wahl für anspruchsvolle CVD- und Ätzprozesse ist.
 

Die A4X Serie: die energieeffizienteste Lösung für CVD-Prozesse
Durch die mehrstufige Wälzkolbentechnologie und hocheffiziente Motoren verfügt die A4 Serie über einen sehr geringen Energieverbrauch unter Prozessbedingungen. Auch der Leerlaufmodus kombiniert mit den benutzerfreundlichen Anpassungsmöglichkeiten der Drehzahl trägt dazu bei, die Betriebskosten zu senken.

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