Mehrstufige Wälzkolbenpumpe A4X Serie

A4X Serie

Ölfreie Pumpen der A4X-Serie für korrosive Anwendungen

Anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterproduktion stellen Vakuumpumpen immer wieder vor neue Herausforderungen. Die A4X Serie von Pfeiffer Vacuum basiert auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Sie haben die Wahl zwischen vier Pumpenlösungen für korrosive Anwendungen mit einem Saugvermögen von 160 bis 3.000 m3/h.

Die Baureihe A4X ist mit Pumpen der Vorgängerreihen vollständig kompatibel.

Vorteile

  • Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbentechnologie, hocheffiziente Motoren und begrenzten Einsatz elektrischer Heizungen
  • Korrosionsbeständige Materialien für erhöhte Lebensdauer
  • Großer Temperaturbereich schützt die Pumpen vor Ablagerungen von Nebenprodukten und Kondensation
  • Lange Betriebsdauer zwischen Wartungen und geringe Betriebskosten
  • Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)
  • Semi S2-0712 und UL 61010 kompatibel

Anwendungen

  • albleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik und LED

Eine gute Lösung für korrosive Prozesse
Die A4X-Baureihe kombiniert alle technologischen Vorteile der A4H-Baureihe mit korrosionsbeständigen Materialien. So wird die Betriebsdauer im Vergleich zu den Modellen der A4H Serie deutlich erhöht – in manchen anspruchsvollen Anwendungen gar verdoppelt. Die stark reduzierten Betriebskosten zeigen dies deutlich.

A4X-Serie Die energieeffizienteste Lösung für CVD-Prozesse
Durch die mehrstufige Wälzkolbentechnologie und hocheffiziente Motoren verfügt die A4 Serie über einen sehr geringen Energieverbrauch unter Prozessbedingungen. Auch der Leerlaufmodus kombiniert mit den benutzerfreundlichen Anpassungsmöglichkeiten der Drehzahl trägt dazu bei, die Betriebskosten zu senken.

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