Turbopumpen mit Hybridlagerung
- Die Starter-Kits sind in Flanschvarianten ISO-K, ISO-F und CF mit Durchmessern von DN 63 bis DN 160 erhältlich
- Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
- Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP 54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Minimaler Platzbedarf durch kleinste Bauweise
- Besonders unempfindlich gegen Erschütterungen, Ideal für mobile Anwendungen
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Minimaler Platzbedarf durch extrem kompakte Bauweise
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Minimaler Platzbedarf durch kleinste Bauweise
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
- Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
- Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Ideal für alle Standardanwendungen
- Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
- Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Ideal für alle Standardanwendungen
- Patentierte Laser Balancing-Technologie
- Maximale Zuverlässigkeit in kompakter Bauweise
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Erhältlich mit verschiedenen Antriebselektroniken
- Industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA- Zertifizierung
- Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 300 l/s für N2
- Kompakt und leistungsstark
- Außergewöhnliches Saugvermögen für leichte Gase
- Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 380 l/s für N2
- Kompakt und leistungsstark
- Außergewöhnliches Saugvermögen für leichte Gase
- Minimaler Platzbedarf und maximale Zuverlässigkeit
- Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
- Industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Minimaler Platzbedarf und maximale Zuverlässigkeit
- Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
- Industrietauglich durch Schutzart IP54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
- Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
- Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
- Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
- Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
- Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
- Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
- Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
- Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
- Ideal für Ionen-Implantationssysteme
- Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
- Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
- Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
HiPace steht für eine komplette Baureihe kompakter und leistungsstarker Turbopumpen im Saugvermögensbereich von 10 bis 2.050 l/s. Sie überzeugt durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität, die bei nahezu allen Pumpen dieser Reihe den Einbau in allen Lagen ermöglicht. Das bewährte Lagersystem bietet Ihnen konkurrenzlose Zuverlässigkeit. Hohes Saugvermögen, hohe Vorvakuumverträglichkeit und hoher Gasdurchsatz sowie eine sehr gute Kompression für leichte Gase werden durch das innovative Rotordesign ermöglicht.
Was ist eine Hybridlagerung?
Die Kombination aus einem Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite mit einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite bezeichnet man als Hybridlagerung.
Diese Lagertechnologie kommt ohne Elektromagnete aus und verfügt mit einem Wartungsintervall von ca. 4 Jahren über eine lange Standzeit. Das Kugellager und der Betriebsmittelspeicher können vor Ort in weniger als 30 Minuten ausgewechselt werden.
Schnelle Hochlaufzeit
Auch die Hochlaufzeit der HiPace wurde erheblich reduziert, was die Pumpe noch schneller einsatzbereit macht: Ein unschätzbarer Vorteil für Ihre Produktion! Darüber hinaus geben wir Ihnen erweiterte Remote- und Sensorikfunktionalitäten an die Hand. Sie erlauben Ihnen beispielsweise, Pumpendaten wie Temperaturen auszuwerten. Die verbesserte Diagnostik ermöglicht Ihnen eine maximale Pumpenverfügbarkeit und unterstützt den Service.
Leistungsstarke Technik
Mit dem konsequent durchdachten Design der HiPace geben wir neue Trends vor. Dafür steht nicht nur das funktionelle Gehäuse, das die Pumpen extrem leicht macht und das Anwendungsspektrum erweitert. Auch die innovative Rotorgeometrie für ruhigeren Betrieb und deutlich verbesserte Gaslasten setzt Maßstäbe.
