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Hybridgelagerte Turbopumpen - Pfeiffer Vacuum

Turbopumpen mit Hybridlagerung

Startpakete für Turbopumpen

Mit unseren Starter-Kits bieten wir Ihnen eine flexible Auswahl an Komplettpaketen für unterschiedlichste Anwendungen, jeweils bestehend aus einer HiPace Turbopumpe inklusive dem betriebsnotwendigen Zubehör. Wählen Sie einfach Ihr Starter-Kit anhand der Turbopumpe aus und Sie erhalten ein Verbindungskabel, die Luftkühlung sowie das Anzeigegerät inklusive integriertem Netzteil gleich passend mit dazu. Alle Komponenten eines Starter-Kits sind optimal aufeinander abgestimmt und ermöglichen neben dem Einbau in allen Lagen auch eine unkomplizierte Inbetriebnahme der Turbopumpe.
  • Die Starter-Kits sind in Flanschvarianten ISO-K, ISO-F und CF mit Durchmessern von DN 63 bis DN 160 erhältlich

SplitFlow™ 50

Kleine, leistungsstarke SplitFlow Turbopumpe basierend auf HiPace Technologie mit einem Saugvermögen von bis zu 53 l/s am Hochvakuumflansch und 0,15 l/s an der Zwischenabsaugung (für N2).
  • Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
  • Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
  • Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP 54
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 10

Kleine und robuste Turbopumpe mit einem Saugvermögen von 10 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf durch kleinste Bauweise
  • Besonders unempfindlich gegen Erschütterungen, Ideal für mobile Anwendungen
  • Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 30

Kleine, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 32 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf durch extrem kompakte Bauweise
  • Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 60 P

Kleine, leistungsstarke Turbomolekularpumpe ohne Holweck-Stufe mit einem Saugvermögen bis zu 64 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf durch kleinste Bauweise
  • Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54

HiPace® 80

Kompakte und leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen von bis zu 67 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
  • Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
  • Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Ideal für alle Standardanwendungen

HiPace® 300

Kompakte und leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen von 260 l/s für N2
  • Maximale Zuverlässigkeit in kompakter Bauweise
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
  • Erhältlich mit verschiedenen Antriebselektroniken
  • Industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Semi S2- und UL/CSA- Zertifizierung

HiPace® 350

Kompakte und leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen von 300 l/s für N2
  • Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 300 l/s für N2
  • Kompakt und leistungsstark
  • Außergewöhnliches Saugvermögen für leichte Gase

HiPace® 450

Kompakte und leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen von 380 l/s für N2
  • Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 380 l/s für N2
  • Kompakt und leistungsstark
  • Außergewöhnliches Saugvermögen für leichte Gase

HiPace® 700

Maximale Vakuumleistung in kompakter Bauweise mit einem Saugvermögen von 685 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf und maximale Zuverlässigkeit
  • Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
  • Industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 800

Maximale Vakuumleistung in kompakter Bauweise mit einem Saugvermögen von 790 l/s für N2
  • Minimaler Platzbedarf und maximale Zuverlässigkeit
  • Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
  • Industrietauglich durch Schutzart IP54
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 1200

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 1.300 l/s.
  • Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
  • Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
  • Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 1500

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 1450 l/s.
  • Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
  • Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
  • Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 1800

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 1700 l/s.
  • Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
  • Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
  • Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 2300

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 2050 l/s.
  • Hohes Saugvermögen für leichte und schwere Gase
  • Hohe Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall
  • Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
  • Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten

HiPace® 2800 IT

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 2800 l/s.
  • Ideal für Ionen-Implantationssysteme
  • Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
  • Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
  • Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung

HiPace steht für eine komplette Baureihe kompakter und leistungsstarker Turbopumpen im Saugvermögensbereich von 10 bis 2.050 l/s. Sie überzeugt durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität, die bei nahezu allen Pumpen dieser Reihe den Einbau in allen Lagen ermöglicht. Das bewährte Lagersystem bietet Ihnen konkurrenzlose Zuverlässigkeit. Hohes Saugvermögen, hohe Vorvakuumverträglichkeit und hoher Gasdurchsatz sowie eine sehr gute Kompression für leichte Gase werden durch das innovative Rotordesign ermöglicht.
 

Was ist Hybridlagerung?
Die Kombination aus einem Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite mit einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite bezeichnet man als Hybridlagerung.
 

Diese Lagertechnologie kommt ohne Elektromagnete aus und verfügt mit einem Wartungsintervall von ca. 4 Jahren über eine lange Standzeit. Das Kugellager und der Betriebsmittelspeicher können vor Ort in weniger als 30 Minuten ausgewechselt werden.
 

Turbopumpen mit Hybridlagerung

Schnelle Hochlaufzeit

Auch die Hochlaufzeit der HiPace wurde erheblich reduziert, was die Pumpe noch schneller einsatzbereit macht: Ein unschätzbarer Vorteil für Ihre Produktion! Darüber hinaus geben wir Ihnen erweiterte Remote- und Sensorikfunktionalitäten an die Hand. Sie erlauben Ihnen beispielsweise, Pumpendaten wie Temperaturen auszuwerten. Die verbesserte Diagnostik ermöglicht Ihnen eine maximale Pumpenverfügbarkeit und unterstützt den Service.

Leistungsstarke Technik

Mit dem konsequent durchdachten Design der HiPace geben wir neue Trends vor. Dafür steht nicht nur das funktionelle Gehäuse, das die Pumpen extrem leicht macht und das Anwendungsspektrum erweitert. Auch die innovative Rotorgeometrie für ruhigeren Betrieb und deutlich verbesserte Gaslasten setzt Maßstäbe.

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