| Anschlussflansch (Ausgang) |
DN 40 ISO-KF |
| Anschlussflansch (Eingang) |
DN 200 CF-F |
| Antriebselektronik |
TC 1200 |
| Antriebselektronik, Einbauart |
Integrierte Antriebselektronik |
| Drehzahl ± 2 % |
37.800 rpm | 37.800 min-1 |
| Drehzahl variabel |
50 – 100 % |
| E/A Schnittstellen |
RS-485, Remote |
| Einbaulage |
90° – 180° (HV-Flansch unten) |
| Eingangsspannung(en) |
100 – 120 / 200 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
| Enddruck |
5 · 10-10 hPa | 3,75 · 10-10 Torr | 5 · 10-10 mbar |
| Flutanschluss |
G 1/8" |
| Gasdurchsatz bei 0,1 hPa HV-Druck für Ar |
26 hPa l/s | 19,5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei 0,1 hPa HV-Druck für CF4 |
30 hPa l/s | 22,5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei 0,1 hPa HV-Druck für H2 |
8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei 0,1 hPa HV-Druck für He |
15 hPa l/s | 11,25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei 0,1 hPa HV-Druck für N2 |
26 hPa l/s | 19,5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Ar |
6 hPa l/s | 4,5 Torr l/s | 6 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für CF4 |
12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für H2 |
> 30 hPa l/s | > 22,5 Torr l/s | > 30 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für He |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für N2 |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
| Gewicht |
40,9 kg | 90,17 lb |
| Hochlaufzeit |
2,5 min |
| Integrale Leckrate |
1 · 10-8 Pa m3/s | 7,5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s |
| Kompressionsverhältnis für Ar |
1 · 108 |
