HiPace® 2800 IT

Leistungsstarke Turbopumpen mit einem Saugvermögen bis zu 2800 l/s.

Produktbeschreibung

• Ideal für Ionen-Implantationssysteme
• Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
• Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
• Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
• Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung

Produkt