하이브리드 베어링 터보 펌프

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PM P03 906
Abbildung ähnlich

HiPace® 300 C mit TC 400, DN 100 ISO-K
Bestellnummer: PM P03 906

  • Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 245 l/s für N2
  • Integrierte Antriebselektronik TC 400
  • Ideal für Beschichtung und Halbleiterapplikationen
  • Mit integrierter Wasserkühlung für maximalen Gasdurchsatz
  • Flexibel durch Einsatz von bis zu 4 Zubehörteilen
  • Ideal für schnelle Zyklen
  • Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
  • Korrosivgasversion
Anschlussflansch (Ausgang) DN 16 ISO-KF/G ¼"
Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K
Antriebselektronik mit TC 400
Betriebsspannung: V DC 24 (± 5 %) V DC
Drehzahl ± 2 % 60.000 rpm | 60.000 min-1
Drehzahl variabel 35 – 100 %
E/A Schnittstellen RS-485, Remote
Einbaulage Standard (0° – 90°)
Enddruck gemäß PNEUROP < 1 · 10-7 hPa | < 7,5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
Flutanschluss G 1/8"
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Ar 4,4 hPa l/s | 3,3 Torr l/s | 4,4 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für H2 > 50 hPa l/s | > 37,5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für He > 20 hPa l/s | > 15 Torr l/s | > 20 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für N2 17 hPa l/s | 12,75 Torr l/s | 17 mbar l/s
Gewicht 6,4 kg | 14,11 lb
Hochlaufzeit 1,2 min
Kompressionsverhältnis für Ar > 1 · 107
Kompressionsverhältnis für H2 3 · 102
Kompressionsverhältnis für He 2,2 · 104
Kompressionsverhältnis für N2 > 1 · 106
Korrosivgasversion JA
Kühlart, optional Luft
Kühlart, Standard Wasser
Kühlwassertemperatur 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
Kühlwasserverbrauch 50 l/h
Kühlwasserverbrauch, max 50 l/h
Kühlwasserverbrauch, min. 50 l/h
Lagerung Hybrid
Partikelanfall JA
Saugvermögen für Ar 250 l/s
Saugvermögen für H2 125 l/s
Saugvermögen für He 220 l/s
Saugvermögen für N2 245 l/s
Schalldruckpegel ≤ 50 dB(A)
Schutzart IP54
Vorvakuum max. für N2 1 hPa | 0,75 Torr | 1 mbar
Zulässiges Magnetfeld max. 5,5 mT

Massbild-TIM-RS

Kennlinie-TIM-RS-1

Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Datenblatt PDF DE 20.10.2018 ~ 600,8 KB
Stepfile STP DE 23.06.2010 ~ 2,5 MB
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Betriebsanleitung TC 400, Antriebselektronik für HiPace (PT0203BDE_S) PDF DE 26.10.2017 ~ 2,7 MB
Betriebsanleitung HiPace 300 C (PT0201BDE_G) PDF DE 26.10.2017 ~ 4,2 MB
Betriebsanleitung HiCube - Turbopumpstände PDF DE 30.07.2018 ~ 951,5 KB
Software TurboViewer (Version 010400) ZIP DE 28.06.2018 ~ 29,9 MB
Software LabView-Treiber 2014 (Pfeiffer Vacuum) ZIP DE 28.06.2018 ~ 2,2 MB
Ihr lokaler Kontakt
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

+1 (800) 248-8254
+1 (888) 658-7983
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