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하이브리드 베어링 터보 펌프

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PM P03 906
Abbildung ähnlich

HiPace® 300 C mit TC 400, DN 100 ISO-K
Bestellnummer: PM P03 906

  • Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 245 l/s für N2
  • Integrierte Antriebselektronik TC 400
  • Ideal für Beschichtung und Halbleiterapplikationen
  • Mit integrierter Wasserkühlung für maximalen Gasdurchsatz
  • Flexibel durch Einsatz von bis zu 4 Zubehörteilen
  • Ideal für schnelle Zyklen
  • Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
  • Korrosivgasversion
Anschlussflansch (Ausgang) DN 16 ISO-KF/G ¼"
Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K
Antriebselektronik mit TC 400
Betriebsspannung: V DC 24 (± 5 %) V DC
Drehzahl ± 2 % 60.000 rpm | 60.000 min-1
Drehzahl variabel 35 – 100 %
E/A Schnittstellen RS-485, Remote
Einbaulage Standard (0° – 90°)
Enddruck gemäß PNEUROP < 1 · 10-7 hPa | < 7,5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
Flutanschluss G 1/8"
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Ar 4,4 hPa l/s | 3,3 Torr l/s | 4,4 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für H2 > 50 hPa l/s | > 37,5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für He > 20 hPa l/s | > 15 Torr l/s | > 20 mbar l/s
Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für N2 17 hPa l/s | 12,75 Torr l/s | 17 mbar l/s
Gewicht 6,4 kg | 14,11 lb
Hochlaufzeit 1,2 min
Kompressionsverhältnis für Ar > 1 · 107
Kompressionsverhältnis für H2 3 · 102
Kompressionsverhältnis für He 2,2 · 104
Kompressionsverhältnis für N2 > 1 · 106
Korrosivgasversion JA
Kühlart, optional Luft
Kühlart, Standard Wasser
Kühlwassertemperatur 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
Kühlwasserverbrauch 50 l/h
Lagerung Hybrid
Partikelanfall JA
Saugvermögen für Ar 250 l/s
Saugvermögen für H2 125 l/s
Saugvermögen für He 220 l/s
Saugvermögen für N2 245 l/s
Schalldruckpegel ≤ 50 dB(A)
Schutzart IP54
Vorvakuum max. für N2 1 hPa | 0,75 Torr | 1 mbar
Zulässiges Magnetfeld max. 5,5 mT

Massbild-TIM-RS

Kennlinie-TIM-RS-1

Netzkabel

Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf C13, 3 m P 4564 309 ZA
Netzkabel 115 V AC, NEMA 5-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZE
Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZF

RS-485 Zubehör

Y-Verteiler M12 für RS-485 P 4723 010
USB RS-485 Konverter PM 061 207 -T
Kupplung M12 für RS-485 PM 061 270 -X
Abschlusswiderstand für RS-485 PT 348 105 -T
Trennverbinder für RS-485 PT 348 132 -T

Adapter/Verbindungen TC 400/1200 und TM 700

Y-Verteiler, geschirmt, M12 für Zubehör P 4723 013
Versorgungsbuchse TC 400/TM 700, gerade P 4723 100
Versorgungsbuchse gewinkelt für TC 400/TM 700 P 4723 101

Dämpfungskörper

Dämpfungskörper für HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F PM 006 459 -X

Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung

Zentrierring mit Multifunktions- Beschichtung, DN 100 ISO-K/-F PM 016 210 -U

Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung und integriertem Schutzgitter

Zentrierring mit Multifunktions- Beschichtung und integriertem Splitterschutz, DN 100 ISO-K/-F PM 016 211 -U

Zentrierring mit Multifunktionsbeschichtung und integriertem Splitterschutz

Zentrierring mit Multifunktions- Beschichtung und integriertem Schutzgitter, DN 100 ISO-K/-F PM 016 212 -U

Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet und Klammerschrauben

Befestigungssatz für HiPace 300, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrierring beschichtet und Klammerschrauben PM 016 365 -T

Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet, Splitterschutz und Klammerschrauben

Befestigungssatz für HiPace 300, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrierring beschichtet, Splitterschutz und Klammerschrauben PM 016 366 -T

Befestigungssätze für HiPace, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutzgitter und Klammerschrauben

Befestigungssatz für HiPace 300, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutzgitter und Klammerschrauben PM 016 367 -T

Zubehör zum Fluten mit Kleinflansch, G 1/8", Schläuche, Trockenvorlage

Aufschraubflansch, DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T
Steckverschraubung für 6 mm Schlauch, G 1/8" PM 016 781 -T
Steckverschraubung für 8 mm Schlauch, G 1/8" PM 016 782 -T
Schlauchtülle für 9 mm Schlauch, G 1/8" PM 016 783 -T
Schwenkverschraubung PM 016 787 -T
Einschraubflansch, DN 10 ISO-KF, G 1/8" PM 033 737 -T
Schwenkverschraubung, klein PM 143 877 -T
TTV 001, Trockenvorlage zum Fluten von Turbopumpen PM Z00 121

Anzeige- und Bediengeräte

HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T
DCU 002, Display Control Unit PM 061 348 -T

Zubehör für DCU/HPU

Zubehörpaket für HPU 001/PC PM 061 005 -T

Zubehör RS-485

Schnittstellenkabel M12 m gerade/M12 m gerade, 3 m PM 061 283 -T

Netzteil für Wand/Normschienenmontage

TPS 310, Netzteil für Wand/Normschienenmontage PM 061 342 -T

Netzteil 19" Teileinschub 3HE mit Frontplatte

TPS 311, Netzteil 19" Teileinschub 3HE PM 061 346 -T

Verbindungskabel

Verbindungskabel für HiPace mit TC 400/TM 700 zu Netzteil TPS/DCU 310/311/400/401 PM 061 352 -T

Relaisboxen geeignet für TC 110, TC 400 und TCP 350

Relaisbox für Vorpumpe, 1-phasig 20 A für TC 400 und TCP 350, M12 Stecker PM 061 375 -T

Wandbefestigungssatz

Wandbefestigungssatz TPS 110/180/310/400 PM 061 392 -T

Frontplattensatz als Ersatzteil

Frontplattensatz für TPS 311 PM 061 395 -T

Adapter und Steuerkabel

Steuerkabel für Pumpstände 0,7 m PM 061 675 AT
HiPace – ACP Verbindungskabel PM 071 142 -X

Verlängerungskabel

Verlängerungskabel M12 auf M12 PM 061 747 -T

Schnittstellenkabel

Schnittstellenkabel M12 m gerade/ M12 m gewinkelt, 0,7 m PM 061 791 -T

Geschirmte Relaisboxen geeignet für TC 110/TC 400 mit PB, TC 1200 und TM 700

Relaisbox geschirmt für Vorpumpe, 1-phasig 7 A für TC 400/1200, TM 700 und TCP 350, M12 PM 071 284 -X

DCU mit integriertem Netzteil

DCU 310, Display Control Unit mit Netzteil PM C01 822

Vorvakuumsicherheitsventile

TVV 001, Vorvakuum-Sicherheitsventil, 230 V AC PM Z01 205
TVV 001, Vorvakuum-Sicherheitsventil, 115 V AC PM Z01 206

Flutventil (Stromlos geschlossen)

Flutventil, geschirmt, 24 V DC, G 1/8" zum Anschluss an TC 400/1200 sowie TM 700 PM Z01 291
Flutventil, geschirmt, 24 V DC, G1/8“ zum Anschluss an TC 400/1200 sowie TM 700 mit gedrehtem Stecker 270° PM Z01 292
Flutventil, 24 V DC, G 1/8" ohne Kabel PM Z01 293

Luftkühlungen (ungeschirmt)

Luftkühlung für HiPace 300 mit TC 400 PM Z01 302

Luftkühlungen 115/230 V

Luftkühlung für HiPace 300/450, 115 V PM Z01 308
Luftkühlung für HiPace 300/450, 230 V PM Z01 309

Sperrgasventil geschirmt (Stromlos geschlossen)

Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 300 mit TC 400, TM 700, TCP 350 PM Z01 312

Sperrgasdrossel

Sperrgasdrossel für HiPace 300 PM Z01 317

Stromausfallfluter (Stromlos offen)

Stromausfallfluter, geschirmt, 24 V DC, G 1/8" zum Anschluss an TC 400, TM 700 und TC 1200 PM Z01 331

Drucksensoren

TIC 010, Adapter für zwei Sensoren PT R70 000
RPT 010, Digitaler Piezo/Pirani Sensor PT R71 100
IKT 010, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Niedrigstromausführung PT R72 100
IKT 011, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Hochstromausführung PT R73 100

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, 6-kt Schrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, 6-kt Schrauben PM 016 940 -T

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, 6-kt Schrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, 6-kt Schrauben PM 016 941 -T

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, 6-kt Schrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, 6-kt Schrauben PM 016 942 -T

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, Stiftschrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet, Stiftschrauben PM 016 945 -T

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, Stiftschrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Splitterschutz, Stiftschrauben PM 016 946 -T

Befestigungssatz mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, Stiftschrauben

Befestigungssatz für DN 100 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, Stiftschrauben PM 016 947 -T

Sperrgasüberwachung

Sperrgasüberwachung G 1/8" PM 016 911 -U
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Datenblatt PDF DE 19.07.2018 ~ 601,5 KB
Stepfile STP DE 23.06.2010 ~ 2,5 MB
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Betriebsanleitung TC 400, Antriebselektronik für HiPace (PT0203BDE_S) PDF DE 26.10.2017 ~ 2,7 MB
Betriebsanleitung HiPace 300 C (PT0201BDE_G) PDF DE 26.10.2017 ~ 4,2 MB
Software TurboViewer (Version 010400) ZIP DE 28.06.2018 ~ 29,9 MB
Software LabView-Treiber 2014 (Pfeiffer Vacuum) ZIP DE 28.06.2018 ~ 2,2 MB
Ihr lokaler Kontakt
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

+1 (800) 248-8254
+1 (888) 658-7983
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