SplitFlow™ 50
Kleine, leistungsstarke SplitFlow Turbopumpe basierend auf HiPace Technologie mit einem Saugvermögen von bis zu 53 l/s am Hochvakuumflansch und 0,15 l/s an der Zwischenabsaugung (für N2).
Produktbeschreibung
- Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
- Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
- Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP 54
- Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
- Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten
