| Anschlussflansch (Ausgang) | G ¼" |
| Anschlussflansch (Eingang) | DN 63 CF-F |
| Anschlussflansch (Zwischenabsaugung) | M5 |
| Antriebselektronik | TM 700 |
| Drehzahl ± 2 % | 49.000 rpm | 49.000 min-1 |
| Drehzahl variabel | 50 – 100 % |
| E/A Schnittstellen | RS-485, Remote |
| Einbaulage | Beliebig |
| Enddruck | < 4 · 10-7 hPa | < 3 · 10-7 Torr | < 4 · 10-7 mbar |
| Flutanschluss | G 1/8" |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Ar | 0,46 hPa l/s | 0,34 Torr l/s | 0,46 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für H2 | 110 hPa l/s | 82,5 Torr l/s | 110 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für He | 7,3 hPa l/s | 5,47 Torr l/s | 7,3 mbar l/s |
| Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für N2 | 1,8 hPa l/s | 1,35 Torr l/s | 1,8 mbar l/s |
| Gewicht | 3,7 kg | 8,16 lb |
| Hochlaufzeit | 1,3 min |
| Kompressionsverhältnis (Zwischenabsaugung/Vorvakuum) für Ar | 1,5 · 103 |
| Kompressionsverhältnis (Zwischenabsaugung/Vorvakuum) für H2 | 2 · 101 |
| Kompressionsverhältnis (Zwischenabsaugung/Vorvakuum) für He | 5 · 101 |
| Kompressionsverhältnis (Zwischenabsaugung/Vorvakuum) für N2 | 9 · 102 |
| Kompressionsverhältnis für Ar | 2,1 · 1010 |
| Kompressionsverhältnis für H2 | 1,3 · 106 |
| Kompressionsverhältnis für He | 1,8 · 106 |
| Kompressionsverhältnis für N2 | 1 · 108 |
| Kühlart | Konvektion |
| Kühlart, optional | Luft Wasser |
| Kühlwasserdurchfluss | 75 l/h |
| Kühlwasserdurchfluss, max. | 75 l/h |
| Kühlwasserdurchfluss, min. | 75 l/h |
| Kühlwassertemperatur | 5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K |
| Lagerung | Hybrid |
| Leistungsaufnahme max. | 110 W |
| Saugvermögen (Zwischenabsaugung) für Ar | 0,13 l/s |
| Saugvermögen (Zwischenabsaugung) für H2 | 0,3 l/s |
| Saugvermögen (Zwischenabsaugung) für He | 0,16 l/s |
| Saugvermögen (Zwischenabsaugung) für N2 | 0,15 l/s |
| Saugvermögen für Ar | 53 l/s |
| Saugvermögen für H2 | 21 l/s |
| Saugvermögen für He | 27 l/s |
| Saugvermögen für N2 | 53 l/s |
| Schalldruckpegel | ≤48 dB(A) |
| Strom max. | 4,6 A |
| Vorvakuum max. für N2 | 20 hPa | 15 Torr | 20 mbar |
| Zulässiges radiales Magnetfeld max. | 5 mT |
| UHV-Schieber, DN 63 CF, metrisch, elektropneumatisch, SG (RS)/SV 24 V DC, 304/Cu/FKM | GVMP-S06542 |
| Elastomerdichtung, FKM, DN 63 CF | 402DFL063-S2 |
| Elastomerdichtung, FKM, DN 63 CF | 402DFL063-Z |
| Flutventil geschirmt, 24 V DC, G 1/8" zum Anschluss an TC 110/120 | PM Z01 290 |
| TTV 001, Trockenvorlage zum Fluten von Turbopumpen | PM Z00 121 |
| Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf C13, 3 m | P 4564 309 ZA | |
| Netzkabel 115 V AC, NEMA 5-15 auf C13, 3 m | P 4564 309 ZE | |
| Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf C13, 3 m | P 4564 309 ZF |
| Schnittstellenkabel, M12 m gerade / M12 m gerade, 3 m | PM 061 283 -T |
| HiPace – ACP Verbindungskabel | PM 071 142 -X |
| Kupferdichtung, OFHC-Kupfer, DN 63 CF | 490DFL063-S10 |
| Kupferdichtung, vakuumgeglüht, DN 63 CF | 490DFL063-G-S5 |
| Kupferdichtung, versilbert, DN 63 CF | 490DFL063-S-S5 |
| Kupferdichtung, versilbert und vakuumgeglüht, DN 63 CF | 490DFL063-S-G-S5 |
| Splitterschutz für Pfeiffer Vacuum Turbopumpen | PM 016 312 | |
| Schutzgitter für DN 63 CF-F | PM 016 333 |
| Sperrgasdrossel für HiPace 30/60/80 | PM Z01 316 |
| Dämpfungskörper für HiPace 60/80, DN 63 CF-F | PM 006 801 -X |
| Relaisbox für Vorpumpe, 1-phasig 20 A für TC 110/120 und TCP 350, Stecker M8 | PM 061 373 -T |
| OmniControl 200 mit PKR 361, 40 CF | PT 440 957 -T |
| Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 30/60/80 mit TC 110 | PM Z01 310 |
| TVV 001, Vorvakuum-Sicherheitsventil, 230 V AC | PM Z01 205 | |
| TVV 001, Vorvakuum-Sicherheitsventil, 115 V AC | PM Z01 206 |
| Datei | Typ | Sprache | Datum | Dateigröße | |
|---|---|---|---|---|---|
| Datenblatt | DE | 25.03.2023 | ~ 147,8 KB | ||
| Stepfile | STP | DE | 16.12.2010 | ~ 1,5 MB | |
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
