Magnetgelagerte Turbopumpen - Pfeiffer Vacuum

Turbopumpen mit 5-Achsen Magnetlagerung

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1400 l/s für N2
  • Betrieb mit integrierter Antriebselektronik OBC oder externer Magpower­Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Beheizte Version (MT) für korrosive Anwendungen erhältlich
5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 2150 l/s für N2
  • Betrieb mit integrierter Antriebselektronik OBC oder externer Magpower­Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Beheizte Version (MT) für korrosive Anwendungen erhältlich
5-achsig magnetgelagerte, reine Turbopumpe (ohne Holweckstufe) mit einem Saugvermögen bis zu 2050 l/s für N2
  • Betrieb mit integrierter Antriebselektronik OBC oder externer Magpower­Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Speziell für Anwendungen mit leichten Gasen
5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 2350 l/s für N2
  • Betrieb mit integrierten Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Beheizte Version (MT) für korrosive Anwendungen erhältlich
5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 3050 l/s für N2
  • Betrieb mit integrierten Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Beheizte Version (MT) für korrosive Anwendungen erhältlich
5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 550 l/s für N2
  • Kompakte, integrierte Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wasser- oder Luftgekühlt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
  • Beheizte Version (MT) für korrosive Anwendungen erhältlich
Hier finden Sie Informationen über das Zubehör und die Antriebselektronik für die Turbopumpen der Serien ATH M und ATP M.

Magnetgelagerte Turbopumpen
Elektromagnetische Lager werden auch „aktive Magnetlager“ genannt, weil die Rotorposition kontrolliert und permanent nachgeregelt wird. Sie ermöglichen einen verschleißfreien, vibrationsarmen Lauf durch eine automatische Unwuchtkompensation. Dies gewährleistet eine kontinuierliche Stabilität des Rotors. Sie sind wartungsfrei und kommen ohne Schmiermittel aus.
 

Turbopumpen mit 5-Achsen Magnetlagerung

Führend

Höchstes Saugvermögen, Kompression und Gasdurchsatz oder minimale Vibrationen sind klassische Vakuumparameter, die von unseren Kunden gefordert werden. Alle 5-Achsenmagnetgelagerten Pumpen der Baureihe liefern hervorragende Leistungsdaten auf ihren Spezialgebieten. Das macht sie zur perfekten Lösung sowohl für nichtkorrosive Anwendungen in Analytik, Forschung & Entwicklung als auch für reaktive Prozesse in den Bereichen Beschichtung und Halbleiter.

Sicher

In unseren wartungsfreien, magnetgelagerten Turbopumpen sind nur hochwertige Fanglager verbaut, die für einen sicheren Betrieb sorgen. Selbst der Einsatz unter härtesten Umgebungsbedingungen ist für unsere HiPace dank Schutzart IP 54 kein Problem. Produkttests gemäß ISO 27892 belegen zusätzlich, dass alle Pumpen höchsten Sicherheitsanforderungen gerecht werden.

Zuverlässig

Unsere Turbopumpen der ATH M und ATP M-Serie sind nicht einfach nur magnetgelagert – ein aktives 5-Achsen-Magnetlager überwacht die Position des Rotors und regelt eventuelle Abweichungen von der Soll-Position in Echtzeit aus. Durch diese hochwertige Lagertechnologie erzielen wir bestmögliche Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit hoher Laufruhe. Die Lagertechnologie und Prozessausrüstung der Hochvakuumpumpen machen unsere ATH M und ATP M-Serie zur Referenz von Hochleistungs-Turbopumpen in Halbleiterproduktion, beschichtenden und trockenätzenden Plasmaverfahren sowie in vielen industriellen und F&E-Anwendungen.

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