Turbopumpen mit 5-Achsen Magnetlagerung

Magnetgelagerte Turbopumpen

Elektromagnetische Lager werden auch „aktive Magnetlager“ genannt, weil die Rotorposition kontrolliert und permanent nachgeregelt wird. Sie ermöglichen einen verschleißfreien, vibrationsarmen Lauf durch eine automatische Unwuchtkompensation. Dies gewährleistet eine kontinuierliche Stabilität des Rotors. Sie sind wartungsfrei und kommen ohne Schmiermittel aus.

Führend

Höchstes Saugvermögen, Kompression und Gasdurchsatz oder minimale Vibrationen sind klassische Vakuumparameter, die von unseren Kunden gefordert werden. Alle 5-Achsenmagnetgelagerten Pumpen der Baureihe liefern hervorragende Leistungsdaten auf ihren Spezialgebieten. Das macht sie zur perfekten Lösung sowohl für nichtkorrosive Anwendungen in Analytik, Forschung & Entwicklung als auch für reaktive Prozesse in den Bereichen Beschichtung und Halbleiter.

Sicher

In unseren wartungsfreien, magnetgelagerten Turbopumpen sind nur hochwertige Fanglager verbaut, die für einen sicheren Betrieb sorgen. Selbst der Einsatz unter härtesten Umgebungsbedingungen ist für unsere HiPace dank Schutzart IP 54 kein Problem. Produkttests gemäß ISO 27892 belegen zusätzlich, dass alle Pumpen höchsten Sicherheitsanforderungen gerecht werden.

Zuverlässig

Unsere Turbopumpen der ATH M und ATP* M-Serie sind nicht einfach nur magnetgelagert – ein aktives 5-Achsen-Magnetlager überwacht die Position des Rotors und regelt eventuelle Abweichungen von der Soll-Position in Echtzeit aus. Durch diese hochwertige Lagertechnologie erzielen wir bestmögliche Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit hoher Laufruhe. Die Lagertechnologie und Prozessausrüstung der Hochvakuumpumpen machen unsere ATH M und ATP M-Serie zur Referenz von Hochleistungs-Turbopumpen in Halbleiterproduktion, beschichtenden und trockenätzenden Plasmaverfahren sowie in vielen industriellen und F&E-Anwendungen.

_{* ATP = ohne Holweck-Stufe}