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P6522103
Abbildung ähnlich

ATH 1600 MT, DN 200 CF-F, externe Antriebselektronik, wassergekühlt, beheizt
Bestellnummer: P6522103

  • 5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2
  • Flansch DN 200 CF-F für anspruchsvolle Anwendungen im UHV
  • Betrieb mit externer Magpower­Antriebselektronik
  • Einbau in allen Lagen
  • Wassergekühlt, beheizt
  • Mit CE-Zeichen und RoHS-konform
Anschlussflansch (Ausgang) DN 40 ISO-KF
Anschlussflansch (Eingang) DN 200 CF-F
Antriebselektronik Externe Antriebselektronik
Antriebselektronik separat JA
Betriebsspannung: 50/60 Hz 200 – 240 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC
Drehzahl ± 2 % 39.000 rpm | 39.000 min-1
E/A Schnittstellen Über die externe Antriebselektronik
Einbaulage Beliebig
Enddruck < 6 · 10-9 hPa | < 4,5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar
Enddruck ohne Gasballast < 6 · 10-9 hPa | < 4,5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar
Gasdurchsatz bei maximaler Drehzahl für Ar, beheizte Pumpe bei 75 °C 8,5 hPa l/s | 6,38 Torr l/s | 8,5 mbar l/s
Gasdurchsatz bei maximaler Drehzahl für H2, beheizte Pumpe bei 75 °C > 16,9 hPa l/s | > 12,68 Torr l/s | > 16,9 mbar l/s
Gasdurchsatz bei maximaler Drehzahl für N2, beheizte Pumpe bei 75 °C 16,9 hPa l/s | 12,68 Torr l/s | 16,9 mbar l/s
Gasdurchsatz für Ar 20,3 hPa l/s | 15,22 Torr l/s | 20,3 mbar l/s
Gasdurchsatz für H2 > 67,6 hPa l/s | > 50,7 Torr l/s | > 67,6 mbar l/s
Gasdurchsatz für He > 67,6 hPa l/s | > 50,7 Torr l/s | > 67,6 mbar l/s
Gasdurchsatz für N2 67,6 hPa l/s | 50,7 Torr l/s | 67,6 mbar l/s
Gewicht 34 kg | 74,96 lb
Hochlaufzeit < 6 min
Kompressionsverhältnis für Ar > 1 · 108
Kompressionsverhältnis für H2 > 5 · 102
Kompressionsverhältnis für He > 4 · 103
Kompressionsverhältnis für N2 > 1 · 108
Korrosivgasversion Ja
Kühlart Wasser
Kühlart, Standard Wasser
Kühlwasserdurchfluss 60 l/h
Kühlwasserdurchfluss, max. 60 l/h
Kühlwasserdurchfluss, min. 60 l/h
Kühlwassertemperatur 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K
Lagerung Magnet
Leistungsaufnahme bei Enddruck 300 W
Leistungsaufnahme max. 650 W
Partikelanfall JA
Saugvermögen für Ar 1280 l/s
Saugvermögen für H2 540 l/s
Saugvermögen für He 940 l/s
Saugvermögen für N2 1360 l/s
Schalldruckpegel ≤48 dB(A)
Vorvakuum max. für N2 2,2 hPa | 1,65 Torr | 2,2 mbar

Massbild-TIM-RS

H
343,4 mm

Kennlinie-TIM-RS-1

Kennlinie-TIM-RS-2

Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Datenblatt PDF DE 29.05.2020 ~ 643,6 KB
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