Auslegung

S Saugvermögen
S₀ Theoretisches Saugvermögen der Ansaugseite
S_R Saugvermögen der Rückförderung
C_R Leitwert
p_a Ansaugdruck
p_v Vorvakuumdruck

Setzten wir S gleich 0, erhalten wir das Kompressionsverhältnis

K₀ Kompressionsverhältnis

Im laminaren Strömungsfall ist der Leitwert wesentlich größer als das Saugvermögen der Rückströmung. Damit vereinfacht sich Formel 2-2 zu

Im molekularen Strömungsbereich ist das einlassseitige Saugvermögen immer noch am größten, jetzt ist aber das Saugvermögen der Rückströmung wesentlich größer als der Leitwert. Damit wird das Kompressionsverhältnis zu:

Bei Laminarströmung (hoher Druck) begrenzt die Rückströmung durch die Spalte zwischen Kolben und Gehäuse das Kompressionsverhältnis. Da der Leitwert dem mittleren Druck proportional ist, sinkt das Kompressionsverhältnis mit steigendem Druck.

Im molekularen Strömungsbereich überwiegt die Rückförderung SR⋅pv von Gas von der Auslassseite und begrenzt das Kompressionsverhältnis zu niedrigem Druck hin. Bedingt durch diesen Effekt ist die Anwendung von Wälzkolbenpumpen auf Drücke p_a > 10^-4 hPa begrenzt.

Saugvermögen

Wälzkolbenpumpen sind mit Überstromventilen ausgerüstet, die maximale Druckdifferenzen Δp_d an den Pumpen zwischen 30 und 60 hPa zulassen. Kombiniert man eine Wälzkolbenpumpe mit einer Vorvakuumpumpe, muss man die Druckbereiche mit geöffnetem (S₁) und geschlossenem Überstromventil (S₂) unterscheiden.

Da der Gasdurchsatz in beiden Pumpen (Wälzkolbenpumpe und Vorvakuumpumpe) gleich ist, gilt:

S₁ Saugvermögen bei geöffnetem Überströmventil
S_V Saugvermögen der Vorvakuumpumpe
p_vVorvakuumdruck
Δp_d maximale Druckdifferenz zwischen Druck- und Saugseite der Rootspumpe

Solange die Druckdifferenz deutlich kleiner als der Vorvakuumdruck ist, ist das Saugvermögen des Pumpstandes nur wenig größer als das der Vorpumpe. Nähert sich der Vorvakuumdruck der Druckdifferenz an, so schließt das Überstromventil und es gilt

Betrachten wir noch den Sonderfall, dass eine Wälzkolbenpumpe gegen konstanten Druck arbeitet (z. B. Kondensatorbetrieb). Im Bereich hoher Drücke gilt Formel 2-3. Einsetzen des Wertes C_R in Formel 1 und Vernachlässigung der Rückströmung S_R gegen den Leitwert C_R liefert:

Bei niedrigen Drücken setzt man S_R aus Formel 2-4 ein und erhält

Aus Formel 2-6 erkennt man, dass S gegen S₀ geht, falls das Kompressionsverhältnis K₀ wesentlich größer ist als das Verhältnis des theoretischen Saugvermögen der Wälzkolbenpumpe S₀ und des Vorvakuumsaugvermögens S_V.

Setzen wir beispielsweise das Kompressionsverhältnis gleich 40 und das Saugvermögen der Wälzkolbenpumpe 10-mal so groß an wie das der Vorpumpe, so erhalten wir S = 0,816 ⋅S0

Für die Abstufung in einem Pumpstand sollte deshalb das theoretische Saugvermögen der Wälzkolbenpumpe maximal zehnmal so groß wie das Saugvermögen der Vorpumpe gewählt werden.

Da die Überströmventile auf Druckdifferenzen um 50 hPa eingestellt sind, ist bei Drücken über 50 hPa fast nur das Saugvermögen der Vorpumpe wirksam. Sollen große Behälter in einer bestimmten Zeit auf z. B. 100 hPa evakuiert werden, muss eine entsprechend große Vorpumpe ausgewählt werden.

Als Beispiel betrachten wir einen Pumpstand, der einen Behälter mit einem Volumen von 2 m³ in 10 Minuten auf einen Druck von 5 · 10^-3 hPa evakuieren soll. Dazu wählen wir eine Vorpumpe, die den Behälter in 5 Minuten auf 50 hPa evakuiert. Bei konstantem Saugvermögen gilt:

t₁ Abpumpzeit der Vorvakuumpumpe
V Volumen des Behälters
S Saugvermögen der Vorpumpe
p₀ Anfangsdruck
p₁ Enddruck

Stellen wir Formel 2-9 um, können wir das erforderliche Saugvermögen berechnen:

Mit den oben angegebenen Zahlenwerten erhalten wir:

Wir wählen als Vorpumpe eine Hepta 100 mit dem Saugvermögen S_V = 100 m³ h^-1. Das Saugvermögen der Wälzkolbenpumpe schätzen wir nach der gleichen Formel auf 61 l s^-1 = 220 m³ h^-1 ab und nehmen eine Okta 500 mit S₀ = 490 m³ h^-1 und einer Druckdifferenz des Überströmventils von Δp_d = 53 hPa für den Feinvakuumbereich.

In der folgenden Tabelle wählen wir die Vorvakuumdrücke laut Spalte p_v, entnehmen die zugehörigen Saugvermögenswerte S_V für die Hepta 100 aus deren Saugvermögenskurve und berechnen den Durchsatz: Q=SV⋅pv

Das Kompressionsverhältnis

ist berechnet für geöffnetes Überstromventil bis zum Vorvakuumdruck von 56 hPa. K₀ ist für Vorvakuumdrücke ≤ 153 hPa aus Abbildung 2.1 entnommen. Das Saugvermögen der Wälzkolbenpumpe berechnen wir auf zwei Arten:

S₁ erhält man aus Formel 2-5 für offenes, oder S₂ nach Formel 2-6 für geschlossenes Überstromventil.

Nähert sich der Vorvakuumdruck der Druckdifferenz Δp_d, so wird S₁ > S₂. Richtig ist immer der kleinere von beiden Saugvermögenswerten, den wir mit S bezeichnen wollen. Den Ansaugdruck erhalt man nach der Formel:

Auspumpzeiten

Man berechnet die Auspumpzeit des Behälters in einzelnen Schritten. In Bereichen mit starker Änderung des Saugvermögens muss man die Vorvakuumdruckintervalle dicht legen. Zur Ermittlung der Auspumpzeit in einem Intervall benutzt man Formel 2-9 und setzt für S den Mittelwert der beiden Saugvermögen für das berechnete Druckintervall ein. Die gesamte Auspumpzeit ist die Summe aller Zeiten in der letzten Spalte von Tabelle 2.1.

Weitere Einflüsse auf die Auspumpzeit haben die Leckrate der Vakuumanlage, die Leitwerte der Rohrleitungen sowie im Rezipienten vorhandene verdampfende Flüssigkeiten, entgasende poröse Materialien und verschmutzte Wände. Einige dieser Faktoren werden in den Abschnitten 2.2.3.1 und 2.3 behandelt. Falls einige der oben genannten Einflüsse unbekannt sind, muss man entsprechende Reserven im Pumpstand vorsehen.