Membranvakuumpumpen sind trockene Verdrängerpumpen. Ein von einer Kurbelwelle angetriebener Pleuel (4) bewegt die zwischen Kopfdeckel (2) und Gehäuse (3) eingespannte Membran (1), die mit dem Raum im Kopfdeckel den Schöpfraum (5) bildet. Membranpumpen benötigen Einlass- und Auslassventile (6), um eine gerichtete Gasförderung zu erreichen. Als Ventile werden druckgesteuerte Flatterventile aus Elastomerwerkstoffen verwendet. Da der Schöpfraum durch die Membran zum Antrieb hin hermetisch abgedichtet ist, wird das geförderte Medium weder durch Öl verunreinigt, noch können aggressive Medien die Mechanik angreifen. Das Totvolumen zwischen dem Auslassventil und dem Schöpfraum führt zu einem begrenzten Kompressionsverhältnis, sodass mit einer Pumpstufe nur ein Enddruck von ca. 70 hPa erreicht werden kann. Durch Hintereinanderschalten mehrerer Pumpstufen ist ein Enddruck von 0,5 hPa erreichbar. Kleinere Drücke können nicht erzielt werden, da dann die Kraft zum Öffnen des Einlassventils nicht mehr ausreicht. Das Prinzip der Membranpumpe eignet sich besonders gut für kleine Saugvermögen
bis ca. 10 m³ · h-1.
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