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COMBI

Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten

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Unsere COMBI Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten sind vorkonfigurierte, hocheffiziente Systeme. Sie bestehen aus einem HiLobe oder einem PANDA Vakuum-Booster und einer passenden Vorpumpe, zum Beispiel einer R5 oder einer DuoVane Drehschieber-Vakuumpumpe beziehungsweise einer COBRA Schrauben-Vakuumpumpe. Darüber hinaus sind integrierte Schnittstellen wie Profinet (Ethernet-Protokoll) sowie Bauteile wie Rohre und Ventile enthalten. Diese Merkmale gewährleisten eine ausgezeichnete Leistung, wodurchschnelle Evakuierungszeiten und konstante Vakuumniveaus erreicht werden. Für individuelle Prozessanforderungen sind darüber hinaus kundenspezifische Lösungen erhältlich. Zum Beispiel können zusätzliche Stufen mit weiteren Vakuum-Boostern in die Einheit integriert werden, um einen niedrigeren Enddruck zu erreichen und die Leistungsaufnahme zu reduzieren.

Unsere Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten eignen sich ideal für Standardanwendungen wie Trocknung und Entgasung. Zudem überzeugen sie auch in Prozessen, die eine hohe Zuverlässigkeit erfordern, wie Vakuumverpacken, Metallurgie, Vakuumtrocknung oder Lecksuchsysteme. Generell eignen sie sich hervorragend für den Einsatz unter beengten Platzverhältnissen.

Baureihe COMBI mit HiLobe Vakuum-Boostern

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Zuverlässige Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten mit hohem Saugvermögen

  • Zuverlässig
  • Herausragende Leistung
  • Flexibel

Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten von Pfeiffer werden im Grob- und Feinvakuumbereich eingesetzt und bieten ein hohes Saugvermögen von Atmosphärendruck bis 10-3 hPa (mbar).

Vorteile der Baureihe COMBI mit HiLobe Vakuum-Boostern

Dank des integrierten HiLobe Vakuum-Boosters mit hocheffizientem internen Permanentmagnet-Motor (IPM) ermöglicht diese Variante unserer Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten kurze Evakuierungszeiten. Der Motor erfüllt die IE4- und IE5-Standards und sorgt so für niedrige Betriebskosten, die durch effiziente Luft- oder Wasserkühlung weiter gesenkt werden. Um Installationen bei beengten Platzverhältnissen zu ermöglichen, werden in den Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten nur kleine und mittlere HiLobe Versionen verbaut. Flexible Montagepositionen ermöglichen eine vertikale oder horizontale Positionierung. Unsere COMBI Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten werden in Standardkonfigurationen angeboten. Sie können auf spezifische Anwendungen zugeschnitten werden und sind mit einer Reihe von optionalem Zubehör verfügbar. Beispielsweise bieten Schalt- und Steuerschränke geschützte Gehäuse für elektronische Ausrüstung und Steuereinheiten. Dadurch werden die Zustandsüberwachung sowie das zuverlässige Prozessmanagement der Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten über die ProfiNet-Schnittstelle (Ethernet-Protokoll) erleichtert.

Je nachdem, ob die Vorpumpe trocken oder ölgeschmiert ist, wird die gesamte Vakuumpumpeneinheit entsprechend klassifiziert.

Die COMBI RH Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten gewährleisten hohe Saugvermögen und schnelle Evakuierungszeiten. Sie eignen sich daher ideal für Load-Lock-Anwendungen. Sie kombinieren trockene Vorpumpen, typischerweise COBRA Schrauben-Vakuumpumpen, mit HiLobe Vakuum-Boostern.

COMBI RU Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten sind mit einstufigen, ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpen wie der R5 ausgestattet und bieten dank hochbelastbarer, faserverstärkter Epoxidharz-Rotorschieber unabhängig von der Gasart ein stabiles Saugvermögen. Diese robusten Schieber sind chemikalienbeständig und erfordern nur minimale Wartung. Typische Anwendungen sind die Helium-Lecksuche oder die Metallurgie.

Die COMBI RD Vakuumpumpeneinheiten kombinieren eine HiLobe mit einer zweistufigen Drehschieber-Vakuumpumpe wie der DuoVane. Das Standardmodell ist mit Wellendichtungen ausgestattet. Eine alternative Konfiguration enthält die DuoVane mit Magnetkupplung. In Kombination mit einer hermetisch dichten HiLobe entsteht so eine dauerhaft abgedichtete Vakuumpumpeneinheit, die Leckagen sowie Verunreinigungen verhindert und eine zuverlässige, saubere Vakuumerzeugung gewährleistet. Unsere COMBI RD Vakuumpumpeneinheiten eignen sich besonders zum Pumpen von Edelgasen und zum Erreichen niedriger Enddrücke. Sie sind ideal als Vorpumpen für Hochvakuumpumpen wie Turbomolekular-Vakuumpumpen, da die zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe einen niedrigeren Enddruck erreicht als einstufige Modelle. Diese Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten werden häufig in Anwendungen wie Metallurgie, Vakuumbeschichtung oder F&E eingesetzt.

Alle COMBI Produkte mit HiLobe Vakuum-Boostern

Die Baureihe COMBI mit PANDA Vakuum-Boostern

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Zuverlässige Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten mit Bypassventilen

  • Zuverlässig
  • Herausragende Leistung
  • Flexibel

Die Baureihe COMBI mit PANDA Vakuum-Boostern von Busch wird zur Erzeugung von Vakuum ab Atmosphärendruck bis 10-3 hPa (mbar) eingesetzt.


COMBI WVD

Vorteile der Baureihe COMBI mit PANDA Vakuum-Boostern

Ausgestattet mit einem Bypassventil ist der integrierte PANDA Vakuum-Booster zuverlässig vor Überlastung und Überhitzung geschützt. Daher eignet er sich optimal für hohe Differenzdrücke.

PANDA Vakuum-Booster arbeiten berührungsfrei ohne Betriebsmittel in der Prozesskammer und erfordern daher nur minimale Wartung. Ihre außergewöhnliche volumetrische Effizienz ermöglicht es ihnen, ein großes Volumen an Fördermedium pro Umdrehung zu transportieren sowie hohe Durchflussraten zu erreichen. Optional sind PANDA Vakuum-Booster mit variablen Drehzahlantrieben erhältlich, was zu einem niedrigen Energieverbrauch und geringeren Betriebskosten führt.

COMBI BNV Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten kombinieren Vorpumpen, typischerweise Schrauben-Vakuumpumpen der Baureihe COBRA, mit PANDA Vakuum-Boostern. Diese Kombination bietet ein hohes Saugvermögen bei niedrigem Enddruck und sorgt so für eine kurze Evakuierungszeit. Typische Anwendungen sind Metallurgie, Verpackung und Vakuumtrocknung.

COMBI BRV Vakuumpumpeneinheiten sind mit einstufigen R5 Drehschieber-Vakuumpumpen ausgestattet. Die extrem langlebigen Hochleistungs-Schieber aus faserverstärktem Epoxidharz der R5 Baureihe gewährleisten eine lange Standzeit und Dauerbetrieb. Dadurch ist die Vakuum-Booster-Pumpeneinheit ideal für die schnelle Evakuierung von Load-Lock-Kammern sowie für Anwendungen wie Elektronenstrahlschweißen oder Oberflächenbehandlung.Die COMBI WVD Vakuum-Booster-Pumpeneinheiten kombinieren eine zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe wie die DuoVane mit einem PANDA Vakuum-Booster. Dank der Fähigkeit der zweistufigen Drehschieber-Vakuumpumpe, niedrigere Enddrücke zu erreichen als eine einstufige Drehschieber-Vakuumpumpe, eignet sich diese Konfiguration ideal als Vorpumpe für Hochvakuumpumpen, wie Turbomolekular-Vakuumpumpen. Sie wird typischerweise in Anwendungen wie Beschichtung oder Metallurgie eingesetzt.