Kontaminationsmanagement für die Halbleiterindustrie
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Unsere Systeme
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Innovative Lösungen von Pfeiffer Vacuum
Die Systeme zum Kontaminationsmanagement sind unsere neusten Entwicklungen speziell für die Halbleiter- und pharmazeutische Industrie. Die langjährige Erfahrung von Pfeiffer Vacuum als Anbieter von Vakuumtechnik hat unser Know-how und Verständnis für die Prozesse, Ausstattung und Umgebung von Produktionsanlagen geprägt. Aus diesem Verständnis haben wir Lösungsvorschläge für die Feststellung und Verringerung von Verunreinigungen und Erhöhung der Ausbeute in den einzelnen Prozessschritten entwickelt.
Zur Sicherung der Qualität und einer hohen Produktionsausbeute ist die Kenntnis über die Verunreinigungen in den Verpackungen von Produkten und deren unmittelbarer Umgebung wichtig.
Eine kontinuierliche Analyse innerhalb des Prozessablaufs in der Halbleiterproduktion ist mit dem APA 302 möglich. Das patentierte vollautomatische Verfahren des ADPC 302 erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche im Inneren von Transportboxen einschließlich der Türen. Der APR 4300 geht noch einen Schritt weiter.
Das AMPC-System ist die ideale Lösung für die Überwachung von Reinraumumgebungen und Frontend-Modulen (EFEM).
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Broschüre: Contamination Management Solutions
Wie kommt es zu Verunreinigungen?
In der Halbleiterherstellung scheiden Wafer während der Transportzeiten und Wartezyklen Reaktionsnebenprodukte aus. Feuchtigkeit und durch Luftströmungen übertragene, molekulare Verunreinigungen (engl. Airborne Molecular Contamination, kurz AMC), wie beispielsweise Fluorwasserstoff, reagieren in den engen Zwischenräumen der Transportboxen (Pod-Systeme) mit Oxidationsmitteln aus der Umgebungsluft (H2O und O2). Bei diesen Reaktionen wird ungewolltes Kristallwachstum auf strukturierten Wafern ausgelöst, was zu Qualitätsverlusten und einer verminderten Produktionsausbeute führt.
In der pharmazeutischen Industrie können Verschmutzungen wie Feuchtigkeit, Sauerstoff oder mikrobiologische Stoffe die Qualität von Arzneimitteln während des kompletten Produktlebenszyklus beeinträchtigen.
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