Restgasanalysesysteme

Präzision nach Maß

Einen wesentlichen Einfluss auf die erreichbare Nachweisgrenze haben vor allem die Auswahl des Quadrupol-Massenspektrometers (PrismaPro oder HiQuad Neo) und die Festlegung der Kammeranzahl. Im Standardsystem gibt es zwei Kammern, eine in der der Prüfling liegt und eine, in der sich das Spektrometer befindet. Bei Bedarf wird dieser Aufbau um eine dritte Kammer, die Schleusenkammer, ergänzt. Hierdurch wird eine Kontamination der Messkammer aus der Umgebung vermieden und der Untergrund deutlich verringert. Durch Ausheizen des Systems wird dieses optimal konditioniert, was die Messfähigkeit weiter erhöht.

Ihre OmniGrade-Vorteile

• Bedarfsgerechte Ausführung durch Baukastensystem

• Niedrige Nachweisgrenzen möglich

• Vollautomatisierter Messprozess

• Weltweites Servicenetzwerk

• Prüfung gemäß GSA 07 1221 & GSA 07 2221

Anwendungen

• EUV-Lithographie in der Halbleiterfertigung

• Elektronenmikroskopie

• Anwendungen im Ultrahochvakuum (UHV)

Eingebaute Sicherheit für ein sicheres Gefühl

Der HiCube Neo RGA kann im Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum betrieben werden. Er ist mit einem integrierten Absperrventil zur präzisen Einstellung des Ansaugdrucks ausgestattet. Zusätzlich wird das System über einen DigiLine Full-Range-Sender abgesichert, der das Massenspektrometer durch die kontinuierliche Überwachung des Totaldrucks schützt. Wenn der Druck sichere Werte überschreitet, veranlasst der Sender automatisch die Abschaltung des Filaments im Massenspektrometer, um eine Beschädigung zu verhindern. Dieser Mechanismus schützt das System vor Bedienungsfehlern und macht einen kostspieligen Austausch des Filaments überflüssig, wodurch langfristig Wartungskosten gespart werden.

Flexible Konnektivität für alle Ihre Anforderungen

Der HiCube Neo RGA bietet sowohl digitale als auch analoge Ein- und Ausgänge, sodass auch externe Daten wie Druck oder Gasdurchfluss erfasst werden können. Diese Daten können dann an externe Steuereinheiten übertragen werden, was eine umfassende Prozessüberwachung ermöglicht.

Der integrierte HiCube Neo lässt sich intuitiv über sein Touch-Display steuern. Dort werden nicht nur Messwerte, sondern auch Signale von angeschlossenen externen Komponenten wie Vakuummessgeräten anzeigt. So haben Sie die volle Kontrolle über Ihre Analyse. Die PV MassSpec Software ermöglicht zudem einen einfachen und schnellen Zugriff auf Ihre Daten.

Der HiCube Neo RGA kann an Ihre spezifischen Prozesse angepasst werden. Beispielsweise kann der Rezipient – die Kammer, in der das Vakuum erzeugt wird – mit einem Heizgerät ausgestattet werden. Dieses lässt eventuell an den Kammerwänden adsorbierte Restgase verdampfen. Während des Betriebs können solche eingeschlossenen Gase nach und nach freigesetzt werden und so die Messungen durch unerwünschte Hintergrundsignale stören. Durch Erhitzen der Kammer werden diese Restgase desorbiert und evakuiert, wodurch Verunreinigungen reduziert und die Genauigkeit Ihrer Analyse verbessert werden. Für ein flexibleres Probenhandling kann das System außerdem mit zusätzlichen manuellen Saugventilen ausgestattet werden. Darüber hinaus lässt sich der HiCube Neo RGA als mobile Lösung auf einem Wagen montieren, sodass er einfach transportiert und an verschiedenen Stellen eingesetzt werden kann.

Vorteile des HiCube Neo RGA

• Kostenoptimierte Lösung für die Gasanalyse

• Anwenderfreundliche Software

• Kompakte Bauweise

• Einfache Bedienung mit Touch-Display

• Vollständig konfigurierbar

• Schlüsselfertige Lösung (vormontiert)

Anwendungen des HiCube Neo RGA

• Allgemeine Anwendungen der Restgasanalyse

• Lecksuche

• Vakuumbeschichtung

• Vakuumöfen

Apropos maßgeschneiderte Systeme

Im Bereich kundenindividuelle Systeme haben wir über Restgasanalysesysteme hinaus noch mehr zu bieten. Unser über langjährige Erfahrung erworbenes Wissen zu den Anforderungen der Halbleiter-, Pharma-, Metallurgie- und aufstrebenden Märkte steckt in der Entwicklung hochmoderner Systeme, die Ihnen helfen, sich in Ihrer Branche zu behaupten. Zum Beispiel haben wir Kontaminationsmanagement-Systeme entwickelt, die darauf abzielen, Verunreinigungen zu identifizieren und zu minimieren sowie die Produktionsprozesse in jeder Phase zu optimieren. Für eine höhere Ausbeute durch verbesserte Qualität und kürzere Taktzeiten.

Teilmontierte Module für Lecktestaufgaben

Neben autarken Einheiten bieten wir auch modulare Lösungen an, die Sie in Ihr System integrieren können. Hierzu zählt unter anderem unser Lecktestmodul (kurz LTM), das Sie in Ihre Produktionslinie zur Serienfertigung integrieren können. Für die Vorserienfertigung ist es aber auch als Einzelprüfstand zur manuellen Qualifizierung erhältlich. Die kundenspezifisch konfigurierbaren Module können die vollständige Palette von Testmethoden und Parametern abdecken, und werden von uns teilmontiert. Mit unseren Erfahrungen zur mechanischen und softwaretechnischen Integration unterstützen wir unsere Kunden bei der Implementierung Ihrer Lösung.