Vakuummessgeräte

Jedes Vakuummessgerät basiert auf einem anderen physikalischen Prinzip und eignet sich für bestimmte Anwendungen besser als für andere. Der Druckbereich eines Vakuummessgeräts wird durch das verwendete Messprinzip sowie durch Auslegung und Aufbau des Messgeräts bestimmt.

Die Kriterien für die Auswahl eines Vakuummessgeräts hängen von folgenden Faktoren ab:

Für größere Bereichen kann es notwendig sein, mehrere Arten von Vakuummessgeräten mit gleichen und/oder unterschiedlichen Messprinzipien zu kombinieren. Dies kann durch die Integration mehrerer einzelner Messgeräte in ein System oder durch die Verwendung von Kombinations-Messgeräten erfolgen.

So kann je nach Anforderungen und Kombinationen die gewünschte Genauigkeit in den entsprechenden Druckbereichen zur Kontrolle des gesamten Prozesses – vom Evakuieren der Kammer bis zur anschließenden Flutung – bestimmt werden. Folgende Kombinationen sind möglich:

Vakuummessgeräte erkennen Druckänderungen und wandeln diese in elektrische Signale um, die vom Benutzer interpretiert werden können. Vakuummessgeräte können zwei verschiedene Signaltypen erzeugen: analoge und digitale Signale. Die Wahl des Signaltyps und der Schnittstelle hängt von den spezifischen Anwendungsanforderungen ab, wie zum Beispiel der Notwendigkeit des Datenaustauschs in Echtzeit, der Integration mehrerer Messgeräte und dem Stellenwert der Benutzerfreundlichkeit.

Auch die benötigte Hard- und Software sowie die Komplexität und der Wartungsaufwand der Schnittstelle sind zu berücksichtigen.

Die beiden Standardbaureihen DigiLine und ActiveLine sind aktive Vakuummessgeräte, das heißt, die Elektronikbauteile befinden sich im gleichen Gehäuse wie die eigentliche Messausrüstung.