Vakuummeter für die Totaldruckmessung

Für jede Anwendung das passende Vakuummeter – in Abhängigkeit von Druckbereich und physikalischem Messprinzip nach erforderlicher Genauigkeit ausgewählt, mit optimierendem Zubehör versehen und reibungsfreier Kommunikation über bevorzugte Schnittstellen.

Auswahl des richtigen Vakuummessgeräts

für Ihre Anwendung

Jedes Vakuummessgerät basiert auf einem anderen physikalischen Prinzip und ist für bestimmte Anwendungen besser geeignet als für andere. Der Druckbereich eines Vakuummeters wird durch das verwendete Messprinzip sowie die Konstruktion und den Aufbau des Messgeräts bestimmt.

Die Kriterien für die Auswahl des Vakuummeters richten sich neben dem zu detektierenden Druckbereich nach unterschiedlichen Rahmenbedingungen:

  • Messbereich

  • Geforderte Genauigkeit

  • Gaszusammensetzung (inert oder korrosiv)

  • Umgebungsbedingungen wie z. B. ionisierende Strahlung, starke Magnetfelder

  • Art der Schnittstelle (analoges oder digitales Signal)

Neben den eigentlichen Messgeräten gibt es Zubehör, das die Handhabung wie Anzeige, Auswertung und Dokumentation vereinfacht. Grundsätzlich kann mit Messröhren stets nur der Totaldruck ermittelt werden, für Partialdrücke werden Massenspektrometer eingesetzt.

Optimierung von Vakuumsystemen durch strategische Kombinationen von Messprinzipien

Für größere Bereiche kann es in einigen Vakuumsystemen erforderlich sein, mehrere Arten von Vakuummetern mit gleichen und/oder unterschiedlichen Messprinzipien zu kombinieren. Dies kann entweder umgesetzt werden, indem man mehrere einzelne Messröhren in ein System integriert, oder indem man mit Kombinations-Messröhren arbeitet. So lässt sich je nach Bedarf und Kombination die gewünschte Genauigkeit in den entsprechenden Druckbereichen ermitteln, um eine Kontrolle über den gesamten Prozessverlauf, vom Evakuieren der Kammer bis zum späteren Fluten, zu erzielen. Verfügbar sind die Kombinationen Piezo/Pirani, Pirani/Kapazitiv, Pirani/Heißkathode und Pirani/Kaltkathode.

Verfügbare Flanschformen: Am häufigsten kommen ISO-KF (Standard) und auch CF-Flansche zum Einsatz. Teilweise sind die Messröhren mit leicht sterilisierbarem TriClamp-Flansch, VCR oder Gewinde verfügbar. Außerdem sind je nach Anwendungstemperaturen Vakuummeter mit verlängertem Flansch erhältlich, die den Abstand zur Temperatur vergrößern.

In welchem Druckbereich möchten Sie den Totaldruck mit welcher Genauigkeit messen?

Soll lediglich ein Prozesszustand mit einem kleinen Druckbereich überwacht werden, kann entsprechend der folgenden Auflistung ein Messprinzip anhand des Druckbereichs ausgewählt werden. Ebenfalls sind die entsprechenden Genauigkeiten sowie die Reproduzierbarkeit mit aufgelistet. Je nachdem, wie exakt die Messungen sein müssen, variieren die Anforderungen an die Genauigkeit und damit auch die Kosten des Messgeräts.

Gasartabhängige Messung

Gasartunabhängige Messung

DigiLine

Geräte mit digitalem Signalausgang

Die DigiLine Transmitter sind für Industrie- und Forschungsanwendungen konzipiert, die eine einfach zu installierende und zuverlässige Messung des Totaldrucks erfordern. Die Baureihe deckt mit den Messprinzipien Piezo-, Pirani-, Kapazitiven-, Heißkathoden- und Kaltkathoden-Sensoren den technisch interessanten Vakuumbereich ab. Alle Transmitter besitzen eine RS-485 Schnittstelle über die bis zu 16 Messstellen an eine Steuerung angeschlossen werden können.

Als Optionen stehen Profibus-DP, DeviceNet, Profinet und EtherCAT-Schnittstellen oder ein zusätzlicher Analogausgang mit zwei Schaltpunkten und LCD-Display zur Auswahl.

  • Störungssichere Kommunikation mit einem PC oder einer SPS

  • M12-Steckverbinder und Schutzart IP54 für zuverlässigen Betrieb in rauen Umgebungen

  • Moderne Schnittstellen (Industrial Ethernet und Feldbusse)

DigiLine Messröhren

ActiveLine

Geräte mit analogem Signalausgang

Die ActiveLine Baureihe bietet eine große Auswahl an Vakuummetern mit unterschiedlichen Messprinzipien und klassischem Analogausgang. Die Reihe deckt damit das technisch interessante Vakuum vom Ultrahochvakuum bis zum Überdruckbereich ab. Die druckproportionale Ausgangsspannung der Transmitter kann durch die drei Steuergeräte als Druck zur Anzeige gebracht oder über Analogeingänge zur Weiterverarbeitung in Steuerungsanlagen eingelesen werden.

  • Raumsparender Einbau dank kompakter Bauform

  • Vermeidet Installationsfehler durch Steuergeräte mit automatischer Transmittererkennung

  • Leichte Verkabelung für alle Transmitter durch einheitliches Standardkabel mit Hirschmannstecker

Die Geräte der ActiveLine sind auch mit anderem Stecker verfügbar. Diese Gerätereihe heißt CenterLine. Die Geräte der CenterLine sind kompatibel zu aktiven Transmittern von anderen Herstellern.

ActiveLine Messröhren

Maßgeschneiderte Lösungen

für einzigartige Bedürfnisse

Um auf die Wünsche unserer Kunden einzugehen, bieten wir auch einige Messgeräte an, die nicht in unsere Standard-Serien passen. Dazu gehören zum Beispiel die CLR-Messröhren vom Typ CLR 39x, die speziell für den Einsatz an dampfsterilisierbaren Gefriertrocknern ausgelegt sind. Der Sensor der temperaturgeregelten kapazitiven Vakuum-Messröhren wird auf konstant 160 °C geheizt, was eine sehr genaue Druckmessung im Bereich von 10 hPa bis 1 · 10-3 hPa ermöglicht. Diese Messröhren werden über SPS gesteuert, und sind optional mit leicht sterilisierbarem TriClamp-Flansch verfügbar.

Vakuummeter für spezielle Anforderungen

Es gibt spezielle Anforderungen, die so häufig vorkommen, dass es hierfür eigene Modellreihen bei Pfeiffer Vacuum gibt. Dazu zählen unter anderem Passive Vakuummeter.

ModulLine

für die Totaldruckmessung in Bereichen mit ionisierender Strahlung

Diese Messröhren enthalten keine Elektronik, wodurch sie unter anderem zum Einsatz an Orten mit hoher Strahlenbelastung geeignet sind.

Die ModulLine Baureihe umfasst drei Pirani-Messröhren TPR mit einem Messbereich von 1.000 bis 8 · 10-4 hPa, drei Kaltkathoden-Messröhren IKR mit einem Messbereich von 5 · 10-3 bis 1 · 10-11 hPa und zwei Heißkathoden-Messröhren IMR mit einem Messbereich von 1 · 10-2 bis 2 · 10-12 hPa.

  • Erwiesene Langlebigkeit

  • Ermöglicht herausfordernde Anwendungen

  • Sensor und Elektronik getrennt platzierbar

ModulLinearrow_forward

Handmessgeräte und Manometer

für den netzunabhängigen Einsatz

Handmessgeräte mit Display. Das TPG 201 arbeitet nach dem Wärmeleitungsprinzip (Pirani). Das TPG 202 besitzt zusätzlich einen piezo-resistiven Druckaufnehmer für den oberen Druckbereich.

Je nach Gerät decken die Handmessgeräte den Druckbereich zwischen 1.200 hPa bis 5 · 10-4 hPa ab. Optional ist ein handlicher Zubehörkoffer erhältlich, ein rundes Paket für alle, die Instandhaltungsarbeiten an Vakuumsystemen durchführen.

Mechanische Manometer sind besonders hilfreich beim Belüften einer Vakuumkammer. Sie zeigen den Druck relativ zum Umgebungsdruck an, auf einer Skala von -1 bis 0,6 bar, sind ausheizbar, UHV-geeignet und benötigen keine Spannungsversorgung.

Handmessgerätearrow_forward

Integrierte Sensoren

zur Systemintegration

Egal ob man ein Vakuummessgerät in ein komplexes System integrieren möchte oder eine einzelne Pumpe überwachen: die integrierten Sensoren bieten einen geringen Platzbedarf und eine einfache Verbindung zur Pumpenelektronik an.

Vielfältige Filamentoptionen für optimale Leistung des Vakuummessgeräts

Je nachdem, in welcher Atmosphäre die Messröhre eingesetzt wird, können Heizfäden aus unterschiedliche Materialien eine unterschiedliche Lebensdauer erreichen. Wir bieten daher verschiedene Versionen bei den relevanten Vakuummetern an, zum Beispiel aus Nickel, Wolfram, Wolfram/Iridium mit Yttriumoxidbeschichtung (Y2O3) oder Platin/Rhodium. Sie wissen nicht, was bei Ihnen am besten funktioniert?

Kontaktmail

Pakete mit allem, was man für den Betrieb von Vakuummetern benötigt

Komplette Messausrüstungen bestehen aus Transmitter, Steuergerät sowie Kabeln. Letztere gibt es in verschiedenen Standardlängen und sind für verschieden Temperaturbereiche geeignet. Die zur Messröhre passende Auswahl finden Sie jeweils bei dem gewählten Produkt und auch über das Zubehör.

Wir bieten attraktive Pakete für die gängigsten Produkte an, aber auch eine individuelle Konfiguration ist möglich, etwa wenn Sie planen, zukünftig das System zu erweitern. Und sollten Sie allein nicht weiterkommen kontaktieren Sie gerne Ihren Ansprechpartner im Vertrieb, um Unterstützung bei der Auswahl der für Sie passenden Produkte zu erhalten.

OmniControl® – das universelle Steuergerät

Reinigung und Kalibrierung für zuverlässige Messwerte

Manche Vakuummeter verschmutzen stärker als andere, vorrangig durch den Prozess, in dem sie eingesetzt werden. Durch fachgerechte Reinigung kann man ihre Lebensdauer verlängern. Sie möchten wissen, wie das funktioniert? Informieren Sie sich in unserem Whitepaper.

Außerdem müssen Messmittel regelmäßig mit Normalen kalibriert werden, weil die Qualität eines Prozesses davon abhängt, wie genau die Messwerte eingehalten werden. So fordert es die Qualitätsmanagement-Norm ISO 9001. Hierfür bieten wir Kalibrierservice und Kalibrierpumpstände an, falls Sie die Kalibrierung selbst durchführen möchten.

Whitepaper:
Wie reinigt man Vakuummessgeräte richtig?

Wie möchten Sie Ihr Vakuummessgerät auswerten?

Vakuummeter arbeiten, indem sie Druckänderungen erkennen und diese Änderungen in elektrische Signale umwandeln, die vom Benutzer interpretiert werden können. Es gibt zwei Arten von Signalen, die Vakuummeter erzeugen können: analoge und digitale Signale. Neben den Auswertesignalen gibt es verschiedene Schnittstellen, die Auswahl beider hängt von den spezifischen Anwendungsanforderungen ab. Ist ein Echtzeit-Datenaustausch notwendig, werden mehrere Messgeräte integriert, steht die Benutzerfreundlichkeit im Vordergrund?

Dabei sollte auch die benötigte Hard- und Software sowie die Komplexität und der Wartungsaufwand der Schnittstelle berücksichtigt werden.

Die beiden Standardgerätereihen DigiLine und ActiveLine sind aktive Vakuummeter, das heißt die Elektronikkomponenten befinden sich im gleichen Gehäuse wie die eigentliche Messausrüstung.