Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser. Es sieht so aus, als ob Sie eine alte Version des Edge-Browsers von Microsoft verwenden. Um die Pfeiffer Webseite optimal nutzen zu können, aktualisieren Sie bitte Ihren Browser.

Kontakt Anmeldung zum Portal
Global

Vakuummessgeräte

Zuverlässiges Totaldruckmanagement in Vakuumanwendungen

digiline_hpt_1

Für jede Anwendung kann das passende Vakuummessgerät auf Basis der erforderlichen Genauigkeit, des Druckbereichs und des physikalischen Messprinzips ausgewählt werden. Unsere Messgeräte sind mit optimierendem Zubehör ausgestattet und gewährleisten eine reibungslose Kommunikation über bevorzugte Schnittstellen.

Produktlinien

  • digiline_hpt_1

    DigiLine

    Geräte mit digitalem Signalausgang

    Mehr erfahren
  • activeline_pbr_360

    ActiveLine

    Geräte mit analogem Signalausgang

    Mehr erfahren
  • modulline_1

    ModulLine

    Totaldruckmessung in Bereichen mit ionisierender Strahlung

    Mehr erfahren
  • centerline_itr_90

    CenterLine

    Messgeräte mit hochmodernen Controllern und automatischer Erkennung

    Mehr erfahren
  • tpg_202_neo

    Handmessgeräte

    Batteriebetriebene Geräte für den netzunabhängigen Einsatz

    Mehr erfahren
  • customer_specific_gauges

    Maßgeschneiderte Lösungen

    Messgeräte für individuelle Kundenanforderungen

    Mehr erfahren
  • omnicontrol_200_with_pkr

    Messpakete

    Komplettpakete mit allem, was Sie für den Betrieb von Vakuummessgeräten benötigen

    Mehr erfahren

DigiLine

digiline_hpt_1

Geräte mit digitalem Signalausgang

Die DigiLine Transmitter sind für Industrie- und Forschungsanwendungen konzipiert, die eine einfach zu installierende und zuverlässige Messung des Totaldrucks erfordern. Mit Piezo-, Pirani-, kapazitiven, Heißkathoden- und Kaltkathoden-Sensoren decken die Messgeräte einen breiten Vakuumbereich ab. Jeder Sender verfügt über eine RS-485-Schnittstelle, über die bis zu 16 Messstellen an einen Controller angeschlossen werden können.

Als Anschlussoptionen stehen Profibus-DP-, Profinet- und EtherCAT-Schnittstellen oder ein zusätzlicher Analogausgang mit zwei Schaltpunkten sowie LCD-Anzeige zur Auswahl.

  • Störungssichere Kommunikation mit einem PC oder einer SPS
  • M12-Stecker und Schutzart IP54 für zuverlässigen Betrieb in strapazierenden Umgebungen
  • Moderne Schnittstellen (Industrial Ethernet und Feldbusse)

Jetzt bestellen

ActiveLine

activeline_pbr_360

Geräte mit analogem Signalausgang

Die ActiveLine Baureihe umfasst eine große Auswahl an Vakuummessgeräten mit unterschiedlichen Messprinzipien und klassischem Analogausgang. Diese Messgeräte decken einen breiten Vakuumbereich von Ultrahochvakuum bis Überdruck ab. Die druckproportionale Ausgangsspannung der Transmitter kann von drei Steuereinheiten als Druck angezeigt oder zur Weiterverarbeitung über Analogeingänge in Steuerungssysteme eingelesen werden.

  • Platzsparende Installation dank kompakter Bauweise
  • Vermeidung von Installationsfehlern durch Steuergeräte mit automatischer Transmittererkennung
  • Einfache Verkabelung für alle Transmitter dank einheitlichem Standardkabel mit Hirschmann-Stecker

Unter der Baureihenbezeichnung CenterLine sind die ActiveLine Geräte auch mit einem anderen Stecker erhältlich. CenterLine Geräte sind mit aktiven Transmittern anderer Hersteller kompatibel.

Jetzt bestellen

ModulLine

modulline_1

Messgeräte für die Totaldruckmessung in Bereichen mit ionisierender Strahlung

Die ModuLine Baureihe enthält keine Elektronik und ist somit für den Einsatz in Umgebungen mit hoher Strahlung geeignet.

Die Baureihe umfasst drei Pirani TPR-Vakuummessgeräte mit einem Messbereich von 1.000 bis 8 · 10-4 hPa (mbar), drei IKR-Kaltkathodenmessgeräte mit einem Messbereich von 5 · 10-3 bis 1 · 10-11 hPa (mbar) und zwei IMR-Heißkathodenmessgeräte mit einem Messbereich von 1 · 10-2 bis 2 · 10-12 hPa (mbar).

  • Erwiesene Langlebigkeit
  • Ermöglicht anspruchsvolle Anwendungen
  • Sensor und Elektronik getrennt platzierbar

Jetzt bestellen

CenterLine

centerline_itr_90

Messgeräte mit moderner Controllertechnologie

Die Baureihe CenterLine umfasst eine große Auswahl an Vakuummessgeräten mit unterschiedlichen Messprinzipien und Analogausgang. Diese Messgeräte arbeiten zuverlässig über einen Messbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. Bis zu drei Messgeräte können mit fortschrittlichen Controllern gekoppelt werden. Diese ermöglichen ein bequemes Datenhandling über eine USB-Schnittstelle für den Datenexport oder Ethernet für die Netzwerkkommunikation. Zur einfachen Ablesbarkeit der Messwerte sind die Controller mit LCD-Displays ausgestattet.

CenterLine Messgeräte sind mit aktiven Messgeräten anderer Hersteller kompatibel und ermöglichen so den einfachen Austausch oder die Ergänzung der aktuellen Ausrüstung.

  • Die Messgeräte werden automatisch von den Controllern erkannt, was eine einfache Installation ermöglicht.
  • Über Standardstecker wie 15 D-Sub, RJ45 und FCC 68 können die Messgeräte angeschlossen werden.
  • Die Baureihe CNR bietet korrosionsbeständige Membransensoren und selbstheizende Versionen für höhere Genauigkeit in Prozessen mit korrosiven oder heißen Gasen, wie z. B. Beschichtungsanwendungen.

Jetzt bestellen

Handmessgeräte

tpg_202_neo_thumbnail

The marketing cookies have to be accepted to watch this video.

Cookies zulassen

Batteriebetriebene Geräte für den netzunabhängigen Einsatz

Es stehen zwei batteriebetriebene Handmessgeräte mit Displays zur Verfügung. Das TPG 201 arbeitet nach dem Wärmeleitprinzip (Pirani), während das TPG 202 Neo zusätzlich einen piezo-resistiven Drucksensor für den höheren Druckbereich enthält.

Je nach Modell decken diese Handmessgeräte einen Druckbereich von 1.200 hPa bis 5 · 10-5 hPa (mbar) ab. Das TPG 202 Neo zeichnet sich durch eine kompakte Bauweise, eine robuste Silikon-Schutzhülle und einen großen Massenspeicher für die Datenaufzeichnung ohne spezielle Software aus.

Mechanische Druckmessgeräte sind beim Entlüften von Vakuumkammern besonders nützlich. Sie zeigen den Druck relativ zum Umgebungsdruck auf einer Skala von -1 bis 0,6 bar an, sind ausheizbar, UHV-geeignet und kommen ohne Spannungsversorgung aus.

Jetzt bestellen

Maßgeschneiderte Lösungen

customer_specific_gauges

Messgeräte für individuelle Kundenanforderungen

Zur Erfüllung der Anforderungen unserer Kunden bieten wir einige Vakuumessgeräte außerhalb unserer Standard-Baureihen an. Dazu gehören die CLR-Messgeräte vom Typ CLR 39x, die speziell für dampfsterilisierbare Gefriertrockner entwickelt wurden.

Der Sensor dieser temperaturgeregelten kapazitiven Vakuummessgeräte wird auf eine konstante Temperatur von 160 °C erwärmt, was eine sehr präzise Druckmessung im Bereich von 10 hPa bis 1 · 10-3 hPa (mbar) ermöglicht. Diese Messgeräte werden über eine SPS gesteuert und sind optional mit einem einfach sterilisierbaren TriClamp-Flansch erhältlich.

Jetzt bestellen

Messpakete

omnicontrol_200_with_pkr
Komplette Messausrüstungen bestehen aus einem Transmitter, einer Steuereinheit und Kabeln. Die Kabel sind in verschiedenen Standardlängen erhältlich und für unterschiedliche Temperaturbereiche geeignet. Die zum Messgerät passende Auswahl finden Sie bei dem gewählten Produkt und über das Zubehör.

Wir bieten attraktive Pakete für die gängigsten Produkte an, aber auch individuelle Konfigurationen sind möglich, insbesondere wenn Sie planen, das System zukünftig zu erweitern. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welche Messlösung für Sie die richtige ist, wenden Sie sich gerne an Ihren Ansprechpartner im Vertrieb, der Sie bei der Auswahl der passenden Produkte unterstützt.

ActiveLine Pakete DigiLine Pakete

Messmethoden

measuring_ranges

Direkt und gasunabhängig oder indirekt und gasabhängig?

Für die Überwachung eines Prozesszustands mit kleinem Druckbereich kann ein Messprinzip aus der folgenden Übersicht anhand dieses Druckbereichs ausgewählt werden.

Es gibt indirekte Messungen, die den Druck über eine Gaseigenschaft bestimmen. Sie liefern dementsprechend ein von der Gasart abhängiges Messergebnis. Direkte Messungen hingegen sind unabhängig von der Gasart.

Die entsprechenden Genauigkeiten und Reproduzierbarkeiten sind ebenfalls aufgeführt. Je nachdem, wie präzise die Messungen sein müssen, variieren die Anforderungen an die Genauigkeit und damit auch die Kosten für das Messgerät.

Gasartabhängige Messung

Pirani

  • Messprinzip: Thermische Leitfähigkeit von Gasen
  • Druckbereich: Grob- bis Hochvakuum (1 · 103 bis 1 · 10-4 hPa [mbar])
  • Genauigkeitsanforderung: gering bis mittel

Kaltkathode

  • Messprinzip: Elektronenemission aus einer Kaltkathode
  • Bauform: Penning, invertiertes Magnetron
  • Druckbereich: Hoch- bis Ultrahochvakuum (1 · 10-2 bis 1 · 10-11 hPa [mbar])
  • Genauigkeitsanforderung: mittel

Heißkathode

  • Messprinzip: Elektronenemission aus einer Heißkathode
  • Bauform: Bayard-Alpert, Extraktorsystem
  • Druckbereich: Ultrahochvakuum bis extremes Hochvakuum (1 · 10-2 bis 1 · 10-12 hPa [mbar])
  • Genauigkeitsanforderung: hoch

Gasartunabhängige Messung

Kapazitiv

  • Messprinzip: Änderung der Kapazität zwischen Elektroden
  • Druckbereich: Fein- bis Hochvakuum (1 · 103 bis 1 · 10-5 hPa [mbar])
  • Genauigkeitsanforderung: hoch

Piezo-resistiv

  • Messprinzip: Änderung des Widerstands der Dehnmessstreifen mit dem Druck
  • Druckbereich: Grob- bis Feinvakuum (1 · 103 bis 1 · 10-1 hPa [mbar])
  • Genauigkeitsanforderung: mittel

Reinigung und Kalibrierung

Für zuverlässige Messwerte

Einige Vakuummessgeräte verschmutzen stärker als andere, hauptsächlich aufgrund des Prozesses, in dem sie verwendet werden. Eine fachgerechte Reinigung kann ihre Lebensdauer verlängern.

Darüber hinaus müssen Messmittel regelmäßig mittels Standards kalibriert werden, da die Qualität eines Prozesses davon abhängt, mit welcher Genauigkeit die Messwerte eingehalten werden. Dies ist in der Qualitätsmanagementnorm ISO 9001 vorgeschrieben. Zur Erfüllung dieser Anforderungen bieten wir Kalibrierdienstleistungen und Kalibriervakuumpumpeneinheiten an, falls Sie die Kalibrierung selbst durchführen möchten.
calibration_service_stage

FAQ

Wie wähle ich das richtige Vakuummessgerät aus?

Jedes Vakuummessgerät basiert auf einem anderen physikalischen Prinzip und eignet sich für bestimmte Anwendungen besser als für andere. Der Druckbereich eines Vakuummessgeräts wird durch das verwendete Messprinzip sowie durch Auslegung und Aufbau des Messgeräts bestimmt.

Die Kriterien für die Auswahl eines Vakuummessgeräts hängen von folgenden Faktoren ab:

  • Messbereich
  • Erforderliche Genauigkeit
  • Gaszusammensetzung (inert oder korrosiv)
  • Umgebungsbedingungen wie zum Beispiel ionisierende Strahlung oder starke Magnetfelder
  • Art der Schnittstelle (analoges oder digitales Signal)

Zusätzlich zu den eigentlichen Messgeräten ist Zubehör erhältlich, das das Handling vereinfacht, zum Beispiel hinsichtlich Anzeige, Auswertung und Dokumentation. Während Vakuummessgeräte nur den Totaldruck bestimmen können, werden Massenspektrometer für Partialdrücke verwendet.

Wie können Vakuummessgeräte in Vakuumsystemen eingesetzt werden?

Für größere Bereichen kann es notwendig sein, mehrere Arten von Vakuummessgeräten mit gleichen und/oder unterschiedlichen Messprinzipien zu kombinieren. Dies kann durch die Integration mehrerer einzelner Messgeräte in ein System oder durch die Verwendung von Kombinations-Messgeräten erfolgen.

So kann je nach Anforderungen und Kombinationen die gewünschte Genauigkeit in den entsprechenden Druckbereichen zur Kontrolle des gesamten Prozesses – vom Evakuieren der Kammer bis zur anschließenden Flutung – bestimmt werden. Folgende Kombinationen sind möglich:

  • Piezo/Pirani
  • Pirani/kapazitiv
  • Pirani/Heißkathode
  • Pirani/Kaltkathode

Verfügbare Flanschformen
Die am häufigsten verwendeten Flanschformen sind ISO-KF (Standard) und CF-Flansche. Einige Messgeräte sind auch mit leicht sterilisierbarem TriClamp-Flansch, VCR oder Gewinde erhältlich. Für Anwendungen mit hohen Temperaturen sind Vakuummessgeräte mit verlängerten Flanschen für einen größeren Abstand zur Wärmequelle verfügbar.

Wie kann ein Vakuummessgerät ausgewertet werden?

Vakuummessgeräte erkennen Druckänderungen und wandeln diese in elektrische Signale um, die vom Benutzer interpretiert werden können. Vakuummessgeräte können zwei verschiedene Signaltypen erzeugen: analoge und digitale Signale. Die Wahl des Signaltyps und der Schnittstelle hängt von den spezifischen Anwendungsanforderungen ab, wie zum Beispiel der Notwendigkeit des Datenaustauschs in Echtzeit, der Integration mehrerer Messgeräte und dem Stellenwert der Benutzerfreundlichkeit.

Auch die benötigte Hard- und Software sowie die Komplexität und der Wartungsaufwand der Schnittstelle sind zu berücksichtigen.

Die beiden Standardbaureihen DigiLine und ActiveLine sind aktive Vakuummessgeräte, das heißt, die Elektronikbauteile befinden sich im gleichen Gehäuse wie die eigentliche Messausrüstung.