Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für anspruchsvolle Anwendungen
Entdecken Sie die unübertroffene Langlebigkeit und Effizienz der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum für die anspruchsvollsten chemischen Anwendungen. Sie gewährleisten zuverlässige Leistung und Schutz vor korrosiven Herausforderungen.
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Vorteile von mehrstufigen Wälzkolbenpumpen in anspruchsvollen Anwendungen
Mehrstufige Wälzkolbenpumpen bieten außergewöhnliche Vorteile in anspruchsvollen Anwendungen und stellen ihre Robustheit und Anpassungsfähigkeit unter Beweis. Durch ihre Widerstandsfähigkeit gegen korrosive Gase und die Fähigkeit, mit schwierigen Umgebungen umzugehen, bieten diese Pumpen eine zuverlässige und stabile Vakuumleistung. Das Fehlen von Verschleißteilen im Inneren des Pumpenmoduls sorgt für langfristige Stabilität und minimale Wartungsanforderungen, wodurch die Betriebskosten gesenkt werden. In anspruchsvollen chemischen Prozessen, in denen korrosive und aggressive Medien vorherrschen, erweisen sich mehrstufige Wälzkolbenpumpen als die optimale Wahl. Sie tragen zu einer höheren Effizienz und Produktivität bei und sorgen gleichzeitig für eine saubere und unbelastete Vakuumumgebung.
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Broschüre: A4 Serie
Die Auswahl der richtigen mehrstufigen Wälzkolbenpumpen: Anspruchsvolle vs. extrem raue chemische Anwendungen
Mehrstufige Wälzkolbenpumpen
Für anspruchsvolle chemische Anwendungen
In Halbleiter- und Beschichtungsprozessen können chemische Anwendungen von anspruchsvollen bis hin zu extrem rauen Umgebungen reichen, die jeweils einzigartige Herausforderungen darstellen. Für anspruchsvolle (engl. „harsh“) chemische Anwendungen, bei denen korrosive Gase und anspruchsvolle Bedingungen vorherrschen, sind die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4-Serie von Pfeiffer Vacuum eine ideale Wahl. Diese Pumpen sind in der Lage, kleine Mengen korrosiver Gase zu fördern und gewährleisten so einen effizienten und zuverlässigen Betrieb.
Entdecken Sie das Funktionsprinzip der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der Serie A4 in diesem Video.
A4H Serie: Energieeffiziente trockene Pumpenlösungen für mittelschwere Prozesse
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Die A4H-Serie von Pfeiffer Vacuum bietet energieeffiziente trockene Pumplösungen für mittelschwere Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Mit sieben verschiedenen Modellen, einem Saugvermögen von 100 bis 3.000 m³/h und fortschrittlichen Überwachungsfunktionen bietet die A4H-Serie eine zuverlässige und genaue Kontrolle der Betriebsbedingungen der Pumpen. Diese Pumpen wurden für anspruchsvolle Prozesse entwickelt und zeichnen sich durch einen hohen Gasdurchsatz, eine verbesserte Partikeltoleranz und ein fortschrittliches Temperaturmanagement für niedrige und hohe Betriebstemperaturen aus. Die A4H-Serie entspricht den Normen Semi S2 und UL 61010 und ist die optimale Wahl zur Senkung der Betriebskosten und Verbesserung der Prozesssicherheit.
Korrosionsbeständige trockene Pumpen der A4X-Serie für anspruchsvolle Anwendungen
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Die A4X-Serie von Pfeiffer Vacuum bietet energieeffiziente und korrosionsbeständige Lösungen zum trockenen Abpumpen für anspruchsvolle Halbleiterprozesse. Die A4X-Serie ist in vier Modellen mit einem Saugvermögen von 160 bis 3.000 m³/h erhältlich und zeichnet sich durch korrosionsbeständige Materialien für eine längere Lebensdauer und ein erweitertes Temperaturmanagement zum Schutz vor Rissbildung durch Precursor oder kondensierbare Ablagerungen aus. Die A4X-Serie entspricht den Normen Semi S2-0712 und UL 61010 und ist eine optimale Lösung zur Senkung der Betriebskosten und Erhöhung der Prozesssicherheit.
Mehrstufige Wälzkolbenpumpen
Für extrem korrosive Anwendungen
Mit ihrer vollständigen Korrosionsbeständigkeit und außergewöhnlichen Haltbarkeit erfüllen die XN-Pumpen die Anforderungen hochkorrosiver Umgebungen und gewährleisten optimale Leistung, Langlebigkeit und Sicherheit. Die XN-Pumpen decken die Anforderungen der meisten Anwendungen in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie ab. Sie bieten ein Saugvermögen von 600 bis 2.900 m³/h und sorgen für eine längere Lebensdauer und Robustheit, mit einer bis zu 5-mal längeren Lebensdauer bei den härtesten korrosiven Anwendungen wie Poly Etch. Diese Pumpen zeichnen sich durch einen weiten Betriebstemperaturbereich, eine hohe mittlere Betriebsdauer vor Ausfällen und niedrige Betriebskosten aus, was sie zur ersten Wahl für Halbleiter- und Beschichtungsanwendungen mit unterschiedlich aggressiven Chemikalien macht
Informieren Sie sich über die besonderen Eigenschaften der XN-Version der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum.
Korrosionsbeständige Prozesspumpen A3XN
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Die A3XN-Trockenläufer sind für hohe Zuverlässigkeit ausgelegt und bieten eine bis zu 5-mal längere Lebensdauer in den härtesten korrosiven Anwendungen sowie eine bis zu 50%ige Energieeinsparung im Vergleich zu früheren Pumpentechnologien. Mit ihrem geringen Platzbedarf, dem leichten Design und den fortschrittlichen Überwachungsfunktionen gewährleistet die A3XN-Serie eine präzise Steuerung der Pumpenbetriebsbedingungen. Diese mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für Halbleiteranwendungen wie Ätz- und High-K-Prozesse und zeichnen sich durch außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle Prozesse in rauen Industrieumgebungen aus.
Die A3XN-Pumpen sind mit der früheren A3P-Serie kompatibel.
Die hochzuverlässigen trockenen Pumpen A4XN
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Mit einer breiten Palette an trockenen Pumpenlösungen von 160 bis 2.900 m³/h ist die A4XN-Serie für anspruchsvolle Halbleiterfertigungsprozesse, einschließlich PECVD, SACVD und ALD, konzipiert. Diese Pumpen verfügen über eine Nickelbeschichtung, die die Korrosionsbeständigkeit erhöht und eine lange Lebensdauer sowie niedrige Betriebskosten gewährleistet. Die A4XN-Serie bietet optimale Energieeffizienz durch hocheffiziente Motoren und den begrenzten Einsatz von elektrischen Heizungen. Diese Pumpen entsprechen den Normen Semi S2-0712 und UL 61010 und verfügen über fortschrittliche Überwachungs- und Leerlauffunktionen, die eine präzise Steuerung der Pumpenbetriebsbedingungen für maximale Leistung ermöglichen.
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