Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen für saubere Anwendungen

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen von Pfeiffer kombinieren außergewöhnliche Robustheit mit hoher Zuverlässigkeit. Sie eignen sich perfekt für Anwendungen, die sauberes, öl- und partikelfreies Vakuum erfordern, wie in der Halbleiterproduktion oder Vakuumbeschichtung.

Ideale Lösungen für saubere Vakuumanwendungen

Die Baureihen ACP, A 100 L und A 200 L sowie die TORRI BD Vakuumpumpen sind hochmoderne Lösungen, die speziell für saubere Prozesse entwickelt wurden, für die ein hohes Maß an Reinheit und Zuverlässigkeit erforderlich ist.

Mit variablem Drehzahlantrieb, Luftkühlsystem und minimalem Wartungsaufwand dank präzise kalibrierter Spaltmaße für einen berührungsfreien Betrieb bietet die ACP Baureihe konstante Leistung und Langlebigkeit. Diese Funktionen ermöglichen den effizienten Betrieb der Vakuumpumpen in mehreren Ausführungen. Von diesen ist jede für spezifische Anwendungen optimiert: von der Förderung sauberer, nicht korrosiver Gase bis hin zur Verarbeitung von Spuren korrosiver Gase. Ein Gasballastventil in der ACP verbessert die Pumpleistung bei leichten Gasen und verhindert Kondensation im Inneren der Vakuumpumpe. Zusammen machen diese Eigenschaften die ACP Baureihe ideal für trockene Vakuumprozesse in Anwendungen wie der Halbleiterproduktion, Medizin und Pharma sowie F&E.

Die A 100 L und A 200 L Baureihen zeichnen sich durch eine kompakte Bauweise und flexible Anschlussoptionen mit horizontalen oder vertikalen Einlässen aus. Dies ermöglicht die nahtlose Integration in bestehende Systeme. Mit ihrer außergewöhnlichen Leistung und Energieeffizienz sind sie in der Lage, große Gasvolumina schnell zu verarbeiten und ermöglichen so schnelle sowie häufige Evakuierungszyklen in Load-Lock- und Transferkammern.

Eine weitere Lösung für Load-Lock-Kammern sind die kompakten TORRI BD Vakuumpumpen. Sie kombinieren hohe Energieeffizienz, einen niedrigen Enddruck dank ihres bewährten Funktionsprinzips und branchenführende Evakuierungszeiten.

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Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen für strapazierende chemische Anwendungen

In Halbleiter- und Beschichtungsprozessen gibt es anspruchsvolle bis extrem strapazierende Anwendungen wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die den Einsatz hoch korrosiver und aggressiver Chemikalien erfordern. Dies stellt gleichermaßen hohe Anforderungen an den Korrosionsschutz und die Temperaturüberwachung der Vakuumpumpen.

Extrem zuverlässige trockene Pumpen für strapazierende chemische Prozesse

Unsere mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen der A4 Baureihe bieten eine äußerst zuverlässige und effiziente Lösung für Prozesse mit korrosiven Gasen und aggressiven Chemikalien. Dank der Verwendung korrosionsbeständiger Materialien eignen sich diese Vakuumpumpen gut für das Handling korrosiver Gase und liefern gleichzeitig eine konstante sowie zuverlässige Leistung. Die A4 Baureihe gewährleistet zuverlässigen Betrieb sowie außergewöhnliche Langlebigkeit und eignet sich ideal für anspruchsvolle Anwendungen wie Halbleiter-Ätzen, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und andere strapazierende chemische Prozesse.

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Eine mehrstufige Roots-Vakuumpumpe ist eine Verdrängerpumpe zur Erzeugung von sauberem und ölfreiem Vakuum. Das Fördermedium durchläuft mehrere Stufen. In jeder Stufe fördern mindestens zwei gegenläufige Wälzkolben das Medium weiter, bis es in der letzten Stufe ausgestoßen wird. Durch den Einsatz mehrerer in Reihe geschalteter Stufen erreicht die Vakuumpumpe höhere Differenzdrücke und niedrigere Enddrücke als ein herkömmlicher Vakuum-Booster.

Dank ihres robusten Designs in Kombination mit Korrosionsschutzbeschichtungen sind mehrstufige Roots-Vakuumpumpen wie die A4 Baureihe von Pfeiffer äußerst widerstandsfähig gegen aggressive Gase und Partikel. Diese Eigenschaften machen sie ideal für anspruchsvolle Anwendungen, die sauberes und trockenes Vakuum erfordern, wie die Halbleiterproduktion, Vakuumbeschichtung, Analytik und F&E.

Eine mehrstufige Roots-Vakuumpumpe besteht aus mehreren Stufen, die in Reihe angeordnet sind. Jede Stufe enthält sich drehende Wälzkolben, die das Fördermedium durch die Vakuumpumpe transportieren. Übertragungskanäle regeln den Durchfluss des Mediums zwischen den Stufen, und ein Getriebe synchronisiert die Bewegung der Wälzkolben, um Kontakt miteinander oder dem Gehäuse zu verhindern.

Das Funktionsprinzip lässt sich in drei Schritten erklären:

1. Einlass (erste Stufe):

2. Verdichtung in mehreren Stufen:


3. Auslass (letzte Stufe):

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen wurden speziell für die Förderung einer Vielzahl von Chemikalien entwickelt, einschließlich korrosiver und aggressiver Substanzen. Von Säuren und Lösungsmitteln bis hin zu Gasen und Dämpfen – diese Vakuumpumpen können eine Vielzahl chemischer Verbindungen effizient und zuverlässig fördern. Die A4 Baureihe von Pfeiffer zeichnet sich durch eine besonders robuste Bauweise und korrosionsbeständige Materialien aus, darunter spezielle Korrosionsschutzbeschichtungen. Zusammen mit Funktionen zur Temperaturüberwachung wie integrierten Heizelementen tragen sie dazu bei, Kondensation und unerwünschte chemische Reaktionen wie die Bildung von Nebenprodukten zu verhindern.

Welcher Typ einer mehrstufigen Roots-Vakuumpumpe passend ist, hängt vom spezifischen Prozess ab, in dem die Vakuumpumpe eingesetzt werden soll. Unterschiedliche Anwendungen erfordern unterschiedliche Saugvermögen, Enddrücke, Saugstrom- und Gasförderungseigenschaften. In der Halbleiterproduktion beispielsweise werden kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen mit hohem Durchsatz für schnelle Evakuierungszyklen bevorzugt. Im Gegensatz dazu erfordern Oberflächenanalysatoren und Leckdetektoren möglicherweise Versionen mit spezifischen Gasanschlussoptionen. Darüber hinaus sind bei Teilchenbeschleunigern strahlungsbeständige Modelle unerlässlich. Daher ist es entscheidend, die besonderen Anforderungen jeder Anwendung zu verstehen, um die am besten geeignete mehrstufige Roots-Vakuumpumpe auszuwählen und optimale Leistung sowie Effizienz zu gewährleisten.

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen von Pfeiffer erfüllen die hohen Anforderungen von Beschichtungsprozessen und sind daher eine ausgezeichnete Wahl für diese Anwendungen.

1. Sauberes und trockenes Vakuum: Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen erzeugen sauberes und trockenes Vakuum. Dies ist für Beschichtungsprozesse unerlässlich, um Verunreinigungen zu verhindern.

2. Hohe Zuverlässigkeit: Ihr berührungsfreier Betrieb minimiert den Verschleiß und gewährleistet über längere Zeiträume eine konstante Leistung. Dies ist insbesondere für Beschichtungsprozesse wichtig, bei denen Prozessstabilität und Verfügbarkeit entscheidend sind.

3. Hohe Energieeffizienz: Viele Modelle unserer mehrstufige Roots-Vakuumpumpen sind mit variablen Drehzahlantrieben ausgestattet, die den Energieverbrauch reduzieren. Dies ist besonders relevant für Beschichtungsprozesse, da sie oft kontinuierlich oder in langen Zyklen laufen. Hier können Energieeinsparungen einen erheblichen Einfluss auf die Gesamtbetriebskosten haben.

4. Haltbarkeit: Diese Vakuumpumpen sind für die Förderung leicht korrosiver Gase und Kondensaten konzipiert. So ist die ACP 120 G mit einem Stickstoff-Gasballastventil ausgestattet und die A4 Baureihe verfügt über eine Korrosionsschutzbeschichtung. Dies ist ideal für Beschichtungsprozesse mit kondensierbaren oder aggressiven Stoffen.

5. Kompakte Bauweise: Kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen wie TORRI BD, A 100 L und A 200 L lassen sich problemlos in bestehende Halbleitersysteme integrieren. Ihr geringer Platzbedarf ist besonders vorteilhaft bei Beschichtungsanlagen mit begrenztem Platz.

Sowohl herkömmliche Vakuum-Booster als auch mehrstufige Roots-Vakuumpumpen arbeiten nach dem gleichen bewährten Roots-Prinzip und verwenden mindestens zwei gegenläufige Wälzkolben, um das Fördermedium durch das System zu leiten. Sie unterscheiden sich jedoch in ihrem Design und ihrer Funktion:

Eine Kombination aus Vakuum-Booster und Vorpumpe erhöht das Saugvermögen und verbessert die Leistung eines Vakuumsystems. Im Gegensatz zu einer herkömmlichen Vakuumpumpe wird das Fördermedium nicht intern verdichtet. Stattdessen wird das Medium an eine Vorpumpe übertragen, wo die eigentliche Verdichtung stattfindet.

Im Gegensatz dazu umfassen mehrstufige Roots-Vakuumpumpen mehrere in Reihe geschaltete Stufen. Sie verdichten das Fördermedium in ihrem Verdichtungsraum stufenweise, bevor es die Vakuumpumpe verlässt.