Ventile können auf unterschiedliche Weise betätigt werden.
Absperrventile werden in der Regel manuell oder pneumatisch betätigt, während Druckregulierventile über einen Elektromotor funktionieren.
Vakuumventile
Unverzichtbar für die Auslegung eines Vakuumsystems.
Vakuumventile spielen eine entscheidende Rolle für die Auslegung und Funktion von Vakuumsystemen. Sie gewährleisten eine präzise Steuerung und Zuverlässigkeit in verschiedenen Industriezweigen und Forschungsanwendungen.
Unser Portfolio an Ventilen umfasst eine breite Palette von Druckregel- und Absperrventilen mit verschiedenen Stellantrieben und Flanschtypen für unterschiedlichste Anforderungen.
Absperrventile
Absperrventile sind entscheidend für die Aufrechterhaltung der Vakuumbedingungen, indem sie Abschnitte eines Vakuumsystems isolieren. Sie steuern den Gas- oder Flüssigkeitsdurchfluss und können manuell, pneumatisch oder elektrisch betätigt werden. Absperrventile eignen sich für verschiedene Anwendungen – darunter die Halbleiterproduktion, F&E sowie industrielle Prozesse – und gewährleisten eine zuverlässige Abdichtung sowie operative Effizienz.Druckregelventile
Ein System zur Druckregelung besteht aus drei wesentlichen Bauteilen: Ventil, Controller und Druckmessgerät. Druckregelventile dienen in erster Linie dazu, den Druck in einer Vakuumkammer zu regeln und den Gasdurchfluss im Vakuumsystem zu steuern. Diese Ventile eignen sich ideal für Anwendungen, die eine präzise Prozesssteuerung erfordern, beispielsweise in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie.Stellantriebe
Manuelle Betätigung
Manuelle Ventile mit Handrad oder Schnellschließ-/Schnellöffnungsmechanismus sind bis 150 °C temperaturbeständig und können ohne Einschränkungen durch elektronische Bauteile betätigt werden.
Elektrische Betätigung
Für die elektrische Betätigung wandeln Elektromotoren elektrische Energie in präzise mechanische Bewegung um, was eine automatisierte und zuverlässige Steuerung ohne Druckluft ermöglicht.
Pneumatische Betätigung
Pneumatisch betätigte Ventile benötigen eine ölfreie Druckluftversorgung.
Elektropneumatische Betätigung
Pneumatisch betätigtes Ventil mit eingebautem Magnetventil zur Steuerung der Druckluftzufuhr zum Ventil.
Flansche
Flansche sind wesentliche Komponenten zur Verbindung verschiedener Teile eines Vakuumsystems und gewährleisten eine sichere sowie leckdichte Montage. Sie ermöglichen die Integration von Vakuumpumpen, Ventilen sowie anderen Bauteilen und erhalten dabei die Integrität und Effizienz des Systems. Es sind folgende Arten von Flanschen erhältlich:
- ISO-KF
- ISO-K
- ISO-F
- CF
- Gewinde
FAQ
Welches Vakuumventil passt zu meiner Anwendung?
Kriterien zur Auswahl eines geeigneten Vakuumventils für Ihre Anwendung:
- Funktionszweck: Die Anwendung hat erheblichen Einfluss auf die Ventilauswahl. Die Anforderungen variieren je nachdem, ob das Ventil hauptsächlich zum Öffnen und Schließen von Vakuumleitungen oder zur Druckregelung verwendet werden soll.
- Installation und Systemkompatibilität: Die physikalischen Abmessungen des verfügbaren Installationsraums sowie die Flansche von Vakuumpumpe und -kammer haben direkten Einfluss auf die Auswahl der geeigneten Ventilgröße.
- Fördermedium: Die Zusammensetzung der durch das Ventil strömenden Gase beeinflusst maßgeblich die Auswahl von Werkstoffen, die Langlebigkeit und Zuverlässigkeit gewährleisten.
- Temperatur: Die Kenntnis der zu erwartenden Temperaturen ist unerlässlich, um die geeigneten Werkstoffe für das Ventilgehäuse und die Dichtungen auszuwählen und damit eine dauerhafte Funktion zu gewährleisten.
- Druck: Für die Auswahl eines Ventils sollte außerdem bekannt sein, welchen Druckbedingungen es ausgesetzt sein wird.
Wie werden Ventile angesteuert?
Bei Pneumatikventilen erfolgt die Steuerung der Ventilbewegung über Druckluft. Der für die Betätigung erforderliche Luftdruck liegt normalerweise zwischen 4 und 8 bar.
Es gibt zwei Haupttypen von Pneumatikventilen:
- Bei einfachwirkenden Ventilen (in der Regel kleinere Eckventile) wird Druckluft zum Öffnen verwendet, und eine Feder bringt das Ventil in seine Standardposition zurück, wenn die Druckluft ausfällt. Die meisten einfachwirkenden Ventile sind normal geschlossen, das heißt, sie werden durch Druckluft geöffnet und die Feder schließt sie, wenn der Druck wegfällt.
- Doppeltwirkende Ventile (in der Regel größere Ventile) verwenden Druckluft zum Öffnen und Schließen und bieten so mehr Kontrolle sowie Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Anwendungen.
Zur Steuerung des Druckluft-Durchflusses wird ein Magnet verwendet, der die Luft in den Luftzylinder des Ventils leitet. Elektromagnetventile verfügen über ein integriertes Magnetventil. Die meisten Vakuumsysteme benötigen für den Betrieb ein Magnetventil mit 24 V Gleichstrom.
Zur Überwachung stehen Stellungsanzeigen zur Verfügung, mit denen festgestellt werden kann, ob ein Ventil offen oder geschlossen ist. Manuelle Ventile verfügen in der Regel über eine optische Anzeige, während Pneumatikventile zur präziseren Steuerung und Überwachung eine direkte Rückmeldung an das Vakuumsystem liefern können.
Was macht Vakuumventile von Pfeiffer so besonders?
Unsere Druckregulierventile verfügen über zwei wichtige Innovationen für herausragende Leistung:
- Das Herzstück jedes Controllers ist unsere patentierte Antriebssteuerungstechnik, die einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb mit äußerst feiner Positionsauflösung ermöglicht.
- Unser adaptiver Druckregelungsalgorithmus arbeitet mit der Antriebssteuerung zusammen, um eine praktisch fehlerfreie Druckregelung zu gewährleisten.
Für welche Druckbereiche können die Ventile verwendet werden?
Vakuumventile eignen sich für alle Vakuumanwendungen, wobei die Wahl des Ventils von der für das jeweilige Druckniveau erforderlichen Dichtungstechnik abhängt:
- Für Hochvakuumanwendungen bis 1×10⁻⁸ hPa(mbar) bietet Pfeiffer ein breites Sortiment an Ventilen mit Gummidichtungen und ISO-KF/ISO-K-Flanschen, die eine zuverlässige Leistung gewährleisten.
- Für Ultrahochvakuumanwendungen sind Ventile mit Metalldichtungen in den mediumberührenden Bereichen und CF-Flanschen die beste Wahl. Ganzmetallventile mit vollmetallischen Dichtungen sind ebenfalls erhältlich.
Welche Dichtungen und Dichtungsmechanismen gibt es?
Dichtungen und Dichtungsmethoden spielen eine entscheidende Rolle bei der Auswahl des richtigen Ventils für ein Vakuumsystem.
- Gummidichtungen bieten eine zuverlässige Abdichtung für Hochvakuumanwendungen. Ihre Temperaturbeständigkeit hängt sowohl vom Gummimaterial als auch von der Betätigungsart ab.
- Für Metalldichtungen wird kein Gummi benötigt, daher eignen sie sich besonders für Ultrahochvakuumanwendungen. Sie halten Temperaturen bis 300 °C stand.
Welche Arten von Hochvakuumventilen gibt es?
Eckventile leiten den Gasdurchfluss um 90° um, während Inline-Ventile mit gegenüberliegenden Anschlussflanschen in geraden Rohrleitungen einfach zu installieren sind. Bei beiden Varianten kommt in der Regel ein Faltenbalg als Dichtung zum Einsatz.
Absperrschieber und Absperrpendelschieber sind perfekt für beengte Platzverhältnisse und gewährleisten einen ungehinderten Gasdurchfluss mit optisch freiem Durchgang. Sie sind auf Hoch- und Ultrahochvakuum ausgelegt und öffnen häufig bereits bei niedrigen Differenzialdrücken von 30 mbar. Damit sind sie ideal für Schleusen oder vor Vakuumpumpen.
Kugelhähne können ebenfalls in bestimmten Hochvakuumanwendungen eingesetzt werden. Kostenoptimierte KF-Ausführungen weisen Leckraten von 10-6 mbar l/s auf und sind bis 80 °C temperaturbeständig. Sonderauslegungen sind für den HV-Bereich geeignet und halten Temperaturen bis 150 °C stand.
Die Wahl des richtigen Ventils hängt von Faktoren wie dem Prozessablauf, der Prozesstemperatur, dem Endvakuum und der Gaszusammensetzung ab. In den folgenden Abschnitten geben wir Ihnen eine Übersicht über unsere Ventiltypen, Dichtungen, Dichtungsmechanismen und Antriebsarten. Bei Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions finden Sie die richtige Ventillösung für Ihren Vakuumbereich.