Vakuumventile von Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum bietet Ventile für Hoch- bis Ultrahochvakuum. Absperrventile ermöglichen die Trennung unterschiedlicher Druckbereiche, während Druckregelventile definierte Gasströme in ein Vakuumsystem ermöglichen.
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Ein grundlegendes Vakuumsystem besteht aus drei wesentlichen Komponenten: Vakuumpumpe, Vakuumkammer und Vakuumventil. Die Auswahl des Vakuumventils ist von zentraler Bedeutung für die Optimierung der Leistung des Vakuumsystems und wird durch eine Vielzahl von Kriterien beeinflusst.
Wichtige Faktoren bei der Auswahl des richtigen Vakuumventils
Die folgenden Kriterien können Ihnen helfen, ein geeignetes Vakuumventil für Ihre Anwendung zu finden:
Funktionszweck des Ventils: Die gewünschte Anwendung beeinflusst die Auswahl des Ventils maßgeblich. Die Anforderungen sind unterschiedlich, je nachdem, ob das Ventil in erster Linie Vakuumleitungen öffnen und schließen oder den Druck regeln soll.
Einbauraum und Systemkompatibilität: Die physischen Abmessungen des verfügbaren Einbauraums und die Flansche der Pumpe sowie der Kammer haben einen direkten Einfluss auf die Auswahl der geeigneten Ventilgröße.
Druck: Die Kenntnis der Druckbedingungen, denen das Ventil ausgesetzt sein wird, beeinflusst die Ventilauswahl.
Gaseinflüsse: Die Zusammensetzung der Gase, die durch das Ventil strömen, hat großen Einfluss auf die Wahl der Werkstoffe. Die richtige Wahl der Werkstoffe gewährleistet die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit des Ventils.
Temperaturbedingungen: Die Kenntnis der zu erwartenden Temperaturen ist unerlässlich, um die geeigneten Werkstoffe für das Ventilgehäuse und die Dichtungen auszuwählen und damit eine dauerhafte Funktion zu gewährleisten.
Weitere Informationen über Vakuumventile finden Sie in unserem Abschnitt „Know how“ .
Vakuumsicheres Absperren, Dosieren und Regeln
Vakuumventile können in zwei Kategorien unterteilt werden:
Vakuumabsperrventile
Unsere Auswahl an Absperrventilen (engl. isolation valves) umfasst mehrere Varianten, darunter Eck- und Inline-Ventile, Schieber, Absperrpendelventile und Kugelhähne, die entweder manuell oder pneumatisch betätigt werden. Die pneumatischen Ventile können optional mit einer Stellungsanzeige ausgestattet werden, um das System mit Informationen über das Öffnen und Schließen zu versorgen. Sie können auch ein Magnetventil enthalten, das zum Öffnen und Schließen der pneumatischen Luftzufuhr verwendet wird, um die Ventilfunktion zu steuern. Unsere Vakuumventile sind in Aluminium oder Edelstahl erhältlich, um eine breite Palette von Anforderungen zu erfüllen.
Eckventile werden häufig eingesetzt, um den Gasstrom durch die Vorleitungen des Vakuumsystems zu isolieren. Im Gegensatz dazu werden Schieber- und Pendelventile häufig verwendet, um eine Vakuumpumpe von der Vakuumkammer zu isolieren. Schieberventile können auch in Systemen mit Vakuumleitungen größer als DN 100 eingesetzt werden. Unsere Vakuumventile eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Industrie, Analytik und F&E.
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Broschüre: Absperrventile
Druckregelventile
Die Kategorie der Druckregelventile umfasst eine Auswahl an Schmetterlings- und Pendelventilen.
Ein komplettes Druckregelsystem besteht aus drei wesentlichen Komponenten: einem Ventil, einem Controller und einem Druckmessgerät. Die Hauptfunktion von Druckregelventilen besteht darin, den Druck in einer Vakuumkammer zu regeln und den Gasfluss in Vakuumsystemen zu steuern. Diese Produkte eignen sich für Anwendungen, die eine präzise Prozesssteuerung erfordern, wie z. B. in der Halbleiter- und Beschichtungsbranche.
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Auswahl und Einsatz von Vakuumventilen in verschiedenen Druckbereichen
Vakuumventile können sowohl in Hochvakuum- als auch in Ultrahochvakuumanwendungen eingesetzt werden. Die Wahl des Ventils kann durch die Dichtungstechnik bestimmt werden. Für Hochvakuumdrücke von 1x10-8 hPa hat Pfeiffer Vacuum eine umfangreiche Auswahl an Ventilen mit Elastomerdichtungen und ISO-KF/ISO-K-Flanschen. Für Ultrahochvakuumanwendungen entscheiden Sie sich für ein Ventil mit Metalldichtungen in den medienberührten Bereichen und CF-Flanschen. Weitere Optionen sind Ganzmetallventile, bei denen alle Dichtungen aus Metall sind.
Ventilansteuerung
Ventile werden auf unterschiedliche Weise betätigt. Absperrventile werden im Allgemeinen manuell oder pneumatisch betätigt, während Druckregelventile über einen Elektromotor funktionieren.
Pneumatisch betätigte Ventile verwenden Druckluft zur Betätigung des Ventils. Der erforderliche Pressluftdruck, der in den Luftzylinder des Ventils strömt, liegt oft zwischen 4 und 8 bar, um das Ventil zu bewegen. Einige Ventile, in der Regel kleinere Eckventile, sind "einfachwirkend", d. h., die Druckluft wird verwendet, um das Ventil in Position zu bringen. Wenn die Druckluft ausfällt, wird das Ventil mit Hilfe einer Feder in die Standardposition bewegt. In der Regel sind Ventile "normal geschlossen", d. h. der Stellantrieb bewegt sich in die offene Position und die Feder schließt das Ventil. Größere Ventile hingegen sind in der Regel "doppeltwirkend". In diesem Fall wird Druckluft verwendet, um das Ventil sowohl zu öffnen als auch zu schließen. Um den Durchfluss der Druckluft zu steuern, wird ein Magnet verwendet, der die Luft in den Luftzylinder des Ventils abgibt. Bei elektromagnetischen Ventilen ist dieses Magnetventil bereits im Ventil eingebaut. Die meisten Vakuumsysteme benötigen ein mit 24 V DC betriebenes Magnetventil zur Steuerung der Druckluftleitung.
Die Ventile sind auch mit einer optionalen Stellungsanzeige erhältlich, die anzeigt, ob ein Ventil geöffnet oder geschlossen ist. Bei manuellen Ventilen kann die Stellung durch eine optische Anzeige festgestellt werden. Die Stellungsanzeige eines pneumatischen Ventils sendet eine direkte Rückmeldung über die Position des Ventils an das Vakuumsystem.