HiPace® 2800 IUT mit TC 1200, DN 250 ISO-F

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  • Ideal für Ionen-Implantationssysteme
  • Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
  • Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
  • Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
  • Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung