이차 이온 질량 분석법(SIMS)

질량 분석법은 화학 물질의 정성 및 정량 분석을 위한 다양한 방법 중 하나입니다. 이차 이온 질량 분석법(SIMS)은 특별한 방법으로서 표면에 민감하게 반응하는 질량 스펙트럼을 기록하는 데 사용됩니다. 측방향 분해능은 그리드에서 시료 표면에 이온 빔을 대량 조사하여 얻게 됩니다.

어떻게 작동합니까?
에너지가 높은 이온이 시료 표면을 타격합니다. 일차 이온이라 부르는 이러한 입자가 시료 표면을 관통하여 운동 에너지를 방출한 후 충돌 캐스케이드를 만들어냅니다. 표면에 가까워진 원자는 이온화되어 시료에서 떨어져 나옵니다. 이 경우 소위 이차 이온을 검출함으로써 시료의 조성을 파악할 수 있습니다. 또한 검출 전에 분석기를 사용하여 서로 다른 질량을 분리할 수도 있습니다. 예를 들어 이는 ToF-MS(Time-of-Flight 질량 분석법)에서 비행 튜브로 사용할 수 있습니다. 또는 사중 극자 질량 분석기에서 사중 극자 필터로 사용할 수도 있습니다. 생성되는 이차 이온은 양전하 입자는 물론 음전하 입자도 될 수 있습니다. 추가 이온 소스는 필요하지 않습니다.