이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
최대 1900 l/s N2속도의 강력하고 파워풀한 터보펌프, 외장형 TCP 1200 드라이브 유닛, 펌프가 이온화 방사선에 노출되는 응용 분야에 적합, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다, 업사이드 다운 방식에 적합하지 않음, 냉각 방법, 수냉 장치
걱정하지 마세요. 우리는 당신을 진공 상태에 두지 않을 것입니다.