밀봉 가스 스로틀 DN 16, 50 sccm

  • 이 장치는 일부 공정에서 퍼지 기체 유량률을 줄이는 데 사용됩니다.
  • 퍼지 밸브가 장착된 펌프에서 사용됨
  • 50 sccm까지 유량 감소