超高真空室的设计和制造

材料选择的标准

首先，你需要室壁的高气密性，以及低的内在蒸汽压力和低的外来气体含量。如果 这一点不能避免，材料至少应该快速放气，以便任何麻烦的残余气体可以被快速抽 出。在UHV中，腔室容积不是一个重要的因素，最多是在泵关闭或推开后的压力上 升过程中起到缓冲作用。在这种情况下，残留的气体来自于容器壁或装置的表面和 体积。

强度和耐腐蚀性是进一步的标准。由于密封面在1 bar的压力差下不能变形，因此需 要足够强度的材料。

耐腐蚀性也必须在困难的条件下得到保证，如在大气中烘烤或化学活性的工艺气 体。因此，测试材料的耐腐蚀性是很重要的。在温度变化过程中需要有良好的稳定 性和适应性的膨胀行为，以确保腔体是并保持紧密。法兰和密封垫的材料必须匹 配。

不锈钢和铜具有相似的热膨胀系数，因此是一个很好的组合。不锈钢和铝只是有限 的匹配，因为在温度超过150℃后，法兰连接在冷却后往往不再紧密。

性能其次是材料的处理和可用性，因为它们应该能够以合理的可负担的努力进行加 工，当然还必须有可用的材料。

由于超高真空技术的低需求，没有自己的材料开发，我们必须使用已经存在的材 料。奥氏体不锈钢特别适合于超高真空应用。