适用于恶劣化学应用的多级罗茨泵

了解普发真空多级罗茨泵的耐用性和效率,适用于苛刻和恶劣的化学应用,确保可靠的性能并抵御腐蚀挑战。

多级罗茨泵在恶劣应用中的优势

多级罗茨泵在恶劣的应用中具有明显的优势,展示了其坚固性和适应性。 这些泵具有耐腐蚀性气体和应对挑战性环境的能力,可提供可靠且稳定的真空性能。 泵送模块内部没有易损件,确保了长期稳定性和最少的维护要求,从而降低了运营成本。 在腐蚀性和侵蚀性介质普遍存在的恶劣化学过程中,多级罗茨泵被证明是理想的选择,有助于提高效率和生产率,同时保持清洁和未受污染的真空环境。

Brochure: A4 Series

选择正确的多级罗茨泵:恶劣与极其恶劣的化学应用

多级罗茨泵

适用于严酷的化学应用

在半导体和涂层工艺中,化学应用的范围从恶劣到高端恶劣的环境,每种环境都带来独特的挑战。 对于普遍存在腐蚀性气体和苛刻条件的恶劣化学应用,普发真空的 A4 系列多级罗茨泵是理想的选择。 这些泵可处理少量腐蚀性气体,从而确保高效可靠的运行。

A4 系列

在此视频中了解 A4 系列多级罗茨泵的工作原理。

A4H 系列:适用于中型流程的节能干泵解决方案

普发真空的 A4H 系列为半导体和镀膜行业的中型工艺提供节能干式泵解决方案。 A4H 系列有七种不同型号可供选择,抽速范围为 100 至 3,000 立方米/小时,并具有先进的监控功能,可以可靠、准确地控制泵的运行条件。 这些泵专为要求苛刻的工艺而设计,具有高气体吞吐量、改进的颗粒耐受性以及适用于低和高工作温度的先进温度管理。 A4H 系列符合 Semi S2 和 UL 61010 标准,是降低运营成本和提高工艺可靠性的最佳选择。

适用于恶劣应用的耐腐蚀 A4X 系列干泵

普发真空的 A4X 系列为严苛的半导体工艺提供节能且耐腐蚀的干式泵解决方案。 A4X 系列有四种型号,抽速范围为 160 至 3,000 立方米/小时,采用耐腐蚀材料,可提高耐用性,并扩展温度管理,以防止前驱体破裂或凝结沉积物。 A4X 系列符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准,是降低运营成本和提高工艺可靠性的解决方案。

多级罗茨泵

适用于腐蚀性极强的应用

XN 泵具有完全的耐腐蚀性和卓越的耐用性,可满足高腐蚀性环境的需求,确保最佳性能、使用寿命和安全性。 XN 系列涵盖了半导体和涂料行业大多数应用的要求,提供 600 至 2,900 立方米/小时的抽速,提供更长的使用寿命和坚固性,在最恶劣的腐蚀性应用(如多蚀刻)中,使用寿命延长了 5 倍。 这些泵具有较宽的工作温度范围、较长的平均故障时间和较低的拥有成本,使其成为处理不同程度化学侵蚀性的半导体和涂层应用的首选。

XN 版本

了解 XN 版普发真空多级罗茨泵的特殊功能。

耐腐蚀流程泵 A3XN

与以前的泵技术相比,A3XN 干泵在恶劣的腐蚀性应用中的使用寿命延长了 5 倍,并且节能高达 50%,其设计具有高可靠性。 A3XN 系列占地面积小、重量轻,设计先进,具有先进的监控功能,可确保精确控制泵的运行条件。 这些多级罗茨泵非常适合蚀刻和高 k 工艺等半导体应用,具有卓越的耐腐蚀性和可靠性,适用于要求苛刻的工业环境中的恶劣工艺。

A3XN 泵与之前的 A3P 系列兼容。

高可靠性干泵 A4XN

A4XN 系列拥有从 160 至 2,900 立方米/小时的各种干泵解决方案,专为严苛的半导体制造工艺而设计,包括 PECVD、SACVD 和 ALD。 这些泵采用镍涂层技术,可提高耐腐蚀性,确保延长使用寿命并降低拥有成本。 A4XN 系列通过高效电机和有限的电加热器使用提供最佳能源效率。 这些泵符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准,具有先进的监控和空闲模式功能,可精确控制泵的运行条件,以实现较高的性能。

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