适用于恶劣化学应用的多级罗茨泵
了解普发真空多级罗茨泵的耐用性和效率，适用于苛刻和恶劣的化学应用，确保可靠的性能并抵御腐蚀挑战。
:grayscale(false):format(png))
多级罗茨泵在恶劣应用中的优势
多级罗茨泵在恶劣的应用中具有明显的优势，展示了其坚固性和适应性。 这些泵具有耐腐蚀性气体和应对挑战性环境的能力，可提供可靠且稳定的真空性能。 泵送模块内部没有易损件，确保了长期稳定性和最少的维护要求，从而降低了运营成本。 在腐蚀性和侵蚀性介质普遍存在的恶劣化学过程中，多级罗茨泵被证明是理想的选择，有助于提高效率和生产率，同时保持清洁和未受污染的真空环境。
:grayscale(false):format(png))
Brochure: A4 Series
选择正确的多级罗茨泵：恶劣与极其恶劣的化学应用
多级罗茨泵
适用于严酷的化学应用
在半导体和涂层工艺中，化学应用的范围从恶劣到高端恶劣的环境，每种环境都带来独特的挑战。 对于普遍存在腐蚀性气体和苛刻条件的恶劣化学应用，普发真空的 A4 系列多级罗茨泵是理想的选择。 这些泵可处理少量腐蚀性气体，从而确保高效可靠的运行。
在此视频中了解 A4 系列多级罗茨泵的工作原理。
A4H 系列：适用于中型流程的节能干泵解决方案
:grayscale(false):format(png))
普发真空的 A4H 系列为半导体和镀膜行业的中型工艺提供节能干式泵解决方案。 A4H 系列有七种不同型号可供选择，抽速范围为 100 至 3,000 立方米/小时，并具有先进的监控功能，可以可靠、准确地控制泵的运行条件。 这些泵专为要求苛刻的工艺而设计，具有高气体吞吐量、改进的颗粒耐受性以及适用于低和高工作温度的先进温度管理。 A4H 系列符合 Semi S2 和 UL 61010 标准，是降低运营成本和提高工艺可靠性的最佳选择。
适用于恶劣应用的耐腐蚀 A4X 系列干泵
:grayscale(false):format(png))
普发真空的 A4X 系列为严苛的半导体工艺提供节能且耐腐蚀的干式泵解决方案。 A4X 系列有四种型号，抽速范围为 160 至 3,000 立方米/小时，采用耐腐蚀材料，可提高耐用性，并扩展温度管理，以防止前驱体破裂或凝结沉积物。 A4X 系列符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准，是降低运营成本和提高工艺可靠性的解决方案。
多级罗茨泵
适用于腐蚀性极强的应用
XN 泵具有完全的耐腐蚀性和卓越的耐用性，可满足高腐蚀性环境的需求，确保最佳性能、使用寿命和安全性。 XN 系列涵盖了半导体和涂料行业大多数应用的要求，提供 600 至 2,900 立方米/小时的抽速，提供更长的使用寿命和坚固性，在最恶劣的腐蚀性应用（如多蚀刻）中，使用寿命延长了 5 倍。 这些泵具有较宽的工作温度范围、较长的平均故障时间和较低的拥有成本，使其成为处理不同程度化学侵蚀性的半导体和涂层应用的首选。
了解 XN 版普发真空多级罗茨泵的特殊功能。
耐腐蚀流程泵 A3XN
:grayscale(false):format(png))
与以前的泵技术相比，A3XN 干泵在恶劣的腐蚀性应用中的使用寿命延长了 5 倍，并且节能高达 50%，其设计具有高可靠性。 A3XN 系列占地面积小、重量轻，设计先进，具有先进的监控功能，可确保精确控制泵的运行条件。 这些多级罗茨泵非常适合蚀刻和高 k 工艺等半导体应用，具有卓越的耐腐蚀性和可靠性，适用于要求苛刻的工业环境中的恶劣工艺。
A3XN 泵与之前的 A3P 系列兼容。
高可靠性干泵 A4XN
:grayscale(false):format(png))
A4XN 系列拥有从 160 至 2,900 立方米/小时的各种干泵解决方案，专为严苛的半导体制造工艺而设计，包括 PECVD、SACVD 和 ALD。 这些泵采用镍涂层技术，可提高耐腐蚀性，确保延长使用寿命并降低拥有成本。 A4XN 系列通过高效电机和有限的电加热器使用提供最佳能源效率。 这些泵符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准，具有先进的监控和空闲模式功能，可精确控制泵的运行条件，以实现较高的性能。
需要帮助吗？
我们可以回答您的问题
我们的产品专家随时可以回答您关于我们的产品和您的应用的问题。