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腔室
安装在 ASM 182 series 入口法兰上的测试室
大型铝质测试室，圆柱形，内部尺寸：直径 160 mm，高度 100 mm
大型铝质测试室，圆柱形，内部尺寸：直径 160 mm，高度 100 mm
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