Pfeiffer Vacuum

2.3.2 분자 전도도

분자 흐름 범위에서 동일한 배관의 전도도에 대해서도 생각 해봅시다. 배관은 직경이 0.07 m이고 길이가 2 m입니다. 2 개의 90° 굽은 파이프의 연장된 길이는 각각 0.235이고 그래 서 총 길이는 $l$ = 2.47 m입니다. 1장의 공식 1-30에 따르면 배관 저항은 다음과 같습니다.

$L_{Rm}=\frac{\bar{c} \cdot \pi \cdot d^3}{12 \cdot l}=$ 1.71 · 10-2 m3 s-1

$T$ = 293 K의 공기에서 $\bar{c}$= 471 m s-1 입니다. 파이프 유입구 의 구멍 전도성은 이미 고려되었습니다.

효과적인 체적 유량율은 다음 공식으로 구합니다.

$S_{eff}=\frac{S_v \cdot L_{Rm}}{S_v + L_{Rm}}=$1.09 · 10-2 m3 s-1 mit $S_v$=2.97 · 10-2 m3 s-1

분자 흐름 범위에서 배압 펌프의 펌프 속도는 거의 3분의 1 로 줄어듭니다. 이 범위에서는 펌프와 진공실 사이의 쇼트 런 과 커다란 배관 횡단면에 특히 주의를 기울여야 합니다. 이 점은 특히 진공실에 직접 이상적으로 플랜지되어야 하는 터 보 펌프에 적용됩니다.

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