Vacuum Technology Book, Volume II

7.3.2 누출 감지기와 4중극 질량 분석기로 테스트 결과 비교

4중극자 질량 분석기는 기체 혼합뭉의 구성을 분석하기 위하 여 가장 먼저 사용됩니다. 분석기는 고진공 범위에서의 테스 트 압력을 요구합니다. 질량 분석기는 거의 모든 추적 기체와 함께 사용될 수 있습니다. 왜냐하면 이들의 사용이 반드시 클 래식한 추적 기체 헬륨에 의존하지는 않기 때문입니다. 잔류 기체 분석기는 특수한 테스트 기체가 없어도 진공 시스템에 서의 누출을 감지할 수 있습니다. 이것들은 공기 속의 기체 질량을 분석합니다.

공기 누출이 있는 수용기의 질량 스펙트럼

그림 7.9: 공기 누출이 있는 수용기의 질량 스펙트럼

추적 기체 헬륨에 대한 누출 감지기는 현재 4중극자 질량 분 석기를 기초로 하여 설계되지는 않습니다. 결과와 데이터 해 석의 더 쉬운 정량화 뿐만 아니라 이들의 더 커진 견고함과 장기적 안정성으로 인하여 자석 섹터 질량 분석기를 기초로 한 거의 모든 질량 분광 분석 감지기가 이 목적을 위하여 주 로 사용됩니다.

석영 창 센서를 기초로 한 감지기가 달린 유닛은 질량 분광 분석 감지기의 우수한 감도를 요구하지 않는 어플리케이션에 도 사용됩니다. 석영 창 센서가 달린 유닛은 무척 높은 테스 트 압력과 높은 수증기 노출에서의 작동을 가능하게 해줍니 다.

  누출 감지기 RGA / QMS
누출, 위치 측정
누출, 정량 아니오
누출, 실제 아니오
침투 대략적 표시 가능, 침투 와 탈착간 구별 없음 예, 데이터 해석이 가능 합니다.
탈착 예, 탈착 기체에 대한 결론입니다.
테스트 압력
감지 한계 5 · 10-13 Pa m3 s-1
(섹 터 필드 MS)
5 · 10-9 Pa m3 s-1
(석 영 창 감지기)
봉 시스템과 감지기 에 따라 달라지는 이 온 전류
일반 정량적 누출률 측정 가능 질적 측정 계기, 정량 복합은 더 많은 전문지 식을 요구하고 더 많은 정보를 제공합니다.

표 7.3: 누출 감지기와 4중극자 질량 분석기의 비교

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