Pfeiffer Vacuum

7.3.1 헬륨으로 누출 감지

누출 감지기는 국부 누출 감지기 또는 전체 누출 테스트를 수 행하기 전에 보정되어야 합니다. 파이퍼 베큠 누출 감지기에 통합된 헬륨 테스트 누출은 이 목적을 위하여 사용됩니다. 보 정 루틴은 누출 감지기가 시작될 때 버튼을 누르거나 자동으 로 시작되고, 정해진 소프트웨어 프로토콜에 따라 작동합니 다. 보정 이후에는 누출 감지기가 사용할 준비가 됩니다.

사용자는 유닛의 상태와 시각적 디스플레이와 청각 신호를 통하여 측정된 누출률에 대하여 계속 정보를 받습니다. 청각 신호와 함께 신호음 주파수는 누출률의 변화에 따라 상승합 니다. 청각 신호가 발생하는 시간은 사용자가 한계값을 프로 그래밍함으로써 결정될 수 있습니다. 시각 신호는 관련 유닛 의 제어 패널에서 아니면 유선 또는 무선 원격 제어 유닛에서 판독될 수 있습니다. 이로써 누출 감지가 단 한 명의 직원에 의해 수행될 수 있습니다.

헬륨을 테스트 기체로 사용할 경우엔 다음 사항이 항상 준수 되어야 합니다.

  • 헬륨은 공기보다 가볍습니다. 따라서 대기에서 헬륨을 사 용할 때는 누출 감지 공정이 항상 테스트 표본의 최고 지 점에서 시작되어야 합니다. 이것은 전류 테스트가 진행되 고 있는 곳 위에서 누출 시 헬륨이 떠오르기 때문에 허위 신호가 발생하는 것을 방지합니다. 그러나 헬륨의 상향 흐 름은 기류에 의하여 중단될 수 있습니다. 천정에서 바닥으 로의 층류 기체 흐름이 발생하는 청정실에서는 작업 방향 이 전도될 수 있습니다.
  • 테스트 기체의 과도한 양이 분무되어서는 안 됩니다. 왜냐 하면 이것은 주변 공기에서 헬륨의 농도를 높이기 때문입 니다. 이것은 누출 감지기의 배경 신호를 높이고 테스트 동안 둔감도를 증가시킵니다.
  • 사용되는 누출 감지기의 배압 펌프 또는 보조 펌프가 오일 윤활될 경우 헬륨이 배압 펌프의 배기 공간에 축적되고 오 일 속에서 용해되어 이 지점에서 고진공 영역으로 역 확산 될 수 있습니다. 높은 누출률 감지 후 배압 펌프에서의 기 체 밸러스트 사용은 축적된 헬륨을 펌프 시스템에서 방전 시켜 표시된 배경 신호를 감소시키는 데에 도움을 줄 수 있습니다.

진공 방식에서는 충분히 낮은 진공을 생성하여 누출 감지기 가 최대 감도에서 작동되게 할 필요가 있습니다. 그렇지 않으 면 누출 감지기가 펌프 다운된 주변 공기에서 발생하는 잔류 헬륨을 계속 표시합니다.

높은 펌프 속도를 가진 추가 진공 펌프(보조 펌프)는 따라서 커다란 테스트 표본에 자주 사용되어야 합니다. 이 경우 누출 감지기는 커다란 진공 펌프용 수용기 펌프 포트에 직접, 즉 보조 펌프에 병렬로 연결되어야 합니다.

보조 펌프 작동 시에는누출률을 결정하기 위하여 테스트 누 출을 사용하여 측정함으로써 시스템의 부분 흐름 비율이 제 한되어야 합니다. 빠져나가는 테스트 기체 중 보조 펌프에 의 하여 펌프 다운되는 비율이 어느 정도이고 누출 감지기에서 감지될 수 있는 비율이 어느 정도인지 신뢰할 수 있을 정도로 표시하는 것은 측정을 통해서만 가능합니다.

스니핑 프로브를 사용하여 작업 시 용기의 압력은 주변 압력 보다 최소 100 hPa 높아야 합니다. 공기의 자연 헬륨 함량으 로 인하여 스니핑 방식의 감도는 진공 방식의 감도보다 더 낮 습니다. 또한 유입되는 헬륨에 대한 누출 감지기의 지연된 반 응 역시 고려되어야 합니다. 반응 시간 역시 사용되는 스니핑 프로브의 길이에 따라 달라집니다.

헬륨이나 다른 테스트 기체를 사용한 누출 테스트가 사양에 결정적인 매개변수와 함께 반드시 수행될 필요는 없습니다. 예를 들면 다양한 기체, 기체 및 유체, 다른 압력 조건, 질량 누출률 및 부피 누출률 등에 대한 전환이 가능합니다.

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