Pfeiffer Vacuum

7.1.3 추적 기체

T누출률에 사용되는 테스트 기체(추적 기체라 불리기도 함)는 다음 조건을 충족시켜야 합니다.

이 기체는

  • 인간, 동물, 환경에 비독성이어야 합니다.
  • 공기를 대체해서는 안됩니다. 그렇지 않으면 질식과 같은 위험한 상황이 발생할 수 있습니다.
  • 불활성이어야 합니다. 예를 들면 반응이 느려야 하고, 화 학적으로 반응하거나 인화성이 있어서는 안 됩니다.
  • 가능하면 공기 중에 존재해서는 안 됩니다. 주변 공기에 가능한 한 최소 농도로 존재하는 기체를 사용해야만 최소 누출 감지가 가능합니다.
  • 다른 기체와 오인되어서는 안 됩니다.
  • 테스트 누출을 통해 정량화될 수 있어야 합니다.

추적 기체 헬륨은 이 모든 요구조건을 충족시킵니다. 불활성 기체인 헬륨은 화학적으로 반응할 수 없습니다. 5ppm의 헬 륨만 주변 공기에 존재하기 때문에 최소 누출 감지를 가능하 게 해줍니다. 헬륨은 공기보다 가볍기 때문에 건강 위험을 노 출하지 않습니다. 특정한 감지는 질량 분광 분석이라는 더 민 감하고 굉장히 선택적인 분석 공정을 사용할 경우 가능합니 다(6.1장 및 7.2장 참조). 확산 누출 또는 흐름 누출로 설계된 상업적으로 사용 가능한 많은 테스트 누출이 있습니다.

위에서 설명한 기준은 거의 어떤 테스트 기체에 의해서도 충 족되지 않으며, 질소 95%와 수소 5%의 혼합물인 형성 기체 95/5는 예외입니다. 공기와 폭 넓은 혼합 범위에서 폭발하는 가연성 수소는 혼합물이 폭발성이나 가연성이 아니고 따라 서 테스트 기체로 사용하기에 안전한 정도로 희석됩니다. 동 일한 질량 분광 분석 감지기가 수소에 대한 민감한 테스트로 사용될 수도 있습니다. 사용된 분석 기술에서 수소의 배경 신 호가 더 높기 때문에 수소는 테스트 기체 헬륨과 동일한 감지 감도에 도달하지 않지만, 압력 감쇠 방법의 감지 감도를 훨씬 초과합니다.

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