Pfeiffer Vacuum

7.2.5 국부 누출 감지

국부 누출 감지는 테스트 표본의 누출을 확인하기 위하여 사 용됩니다.

진공 방식에서 테스트 표본(용기)은 누출 감지기에 연결되고, 헬륨은 스프레이 건을 사용하여 의심 영역 위에 간단히 분무 됩니다. 테스트 표본의 압력이 분자 흐름 범위에 있을 경우( 예: < 10-3 hPa), 테스트 속도는 테스트 표본의 속도와 헬륨에 대한 테스트 설정의 효과적인 펌프 속도에 따라 달라집니다. 테스트 표본이 작을수록 또는 사용된 누출 감지기나 보조 펌 프의 속도가 빠를수록 결과는 더 빨리 얻어집니다. 더 높은 압력에서 특히 1 hPa 이상의 층류 흐름 범위에서, 디스플레 이 속도는 훨씬 더 느려지고 누출 감지기의 배압 펌프의 펌프 속도에 의해 좌우됩니다.

그림 7.6의 스니핑 방식에서 테스트 표본(3)은 테스트 기체 초과 압력으로 충진됩니다. 스니핑 프로브(2)는 누출 감지기 의 테스트 기체 연결에 연결됩니다. 테스트 표본에서 누출을 통하여 빠져나가는 테스트 기체는 프로브를 사용하여 스니 핑함으로써 감지될 수 있습니다.

스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지

그림 7.6: 스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지

개별 누출은 국부 누출 감지를 사용하여 확인될 수 있습니다. 그러나 모든 누출의 합계는 결정될 수 없습니다. 그것이 이 공정이 품질 보증 목적을 위하여 GO / NO GO 표시장치를 제공하는 데 대하여 제한된 적합성만을 제안하는 이유입니 다.

  스니핑 누출 감지 진공 누출 감지
방법 테스트 스니핑 기체 충진된 테스트 물체 헬륨으로 분무
기계적 강도 초과 압력에 대한 진공에 대한 외부로부 터의 대기압에 대한(차 압 1000 hPa)
감지 한계 < 1 · 10-8 Pa m3 s-1 < 5 · 10-13 Pa m3 s-1

표 7.1: 스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지