Vacuum Technology Book, Volume II

7.2.4 누출 감지기 보정

누출 감지기는 누출률을 결정하기 위하여 보정되어야 합니 다. 이것은 상업적 테스트 누출을 사용하여 행해지며, 상업적 테스트 누출은 제한된 조건 하에서 알려져 있고 재생 가능한 테스트 기체를 생성합니다. 상업적 테스트 누출은 테스트 기 체 보유고가 있건 없건 침투 누출 또는 모세관 누출의 형태로 사용 가능합니다. 누출 감지기엔 대체로 헬륨 보유고가 있는 침투 누출이 장착되어 있습니다. 보정을 위하여 보정을 자동 으로 수행하는 적절한 작업 사이클이 종종 내장되어 있습니 다.

정밀한 측정을 위하여 유닛은 사용 전에 보정되어야 합니다. 추가 진공 펌프가 사용되는 커다란 테스트 표본을 테스트하 기 위해서는 외부의 테스트 누출을 사용하는 것이 바람직합 니다. 측정 정확도는 테스트 누출이 어디에 부착되어 있느냐 에 따라 달라질 수 있습니다. 결과적으로 진공 영역 내의 흐 름 조건을 고려하는 것이 필요합니다. 외부 테스트 누출의 사 용은 또한 최대 반응 시간을 결정하는 데에 유용합니다.

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