Vacuum Technology Book, Volume II

7.2.2 석영 창 감지기로 누출 감지기 설계

질량 분광 분석 감지기가 자석 또는 전기장에서의 분리 후 이 온화에 의하여 기체 혼합물을 분리하는 동안, 석영 창 감지기 는 기체의 다른 침투 속성을 사용합니다.

석영 창 센서의 작동 원리

그림 7.4: 석영 창 센서의 작동 원리

추적 기체 혼합물은 가열된 격막의 석영 표면으로 운반됩니 다. 석영 격막의 운반기 층은 들어오는 모든 기체 원자 및 분 자가 이를 통하여 석영 격막에 도달할 수 있는 수천 개의 구 멍을 가진 실리콘 웨이퍼로 구성되어 있습니다. 분리 자체는 헬륨은 허용하지만 다른 기체는 그것을 통과하도록 허용하 지 않는 석영 격막에서 일어납니다. 격막의 두께와 온도는 헬 륨 테스트 기체의 침투에 영향을 주는 인자들입니다. 기체가 격막을 통과한 후에 들어온 추적 기체는 이온화되고 이온 전 류는 누출률의 척도가 됩니다.

시스템의 MiniTest 석영 창 누출 감지기의 진공 격막

그림 7.5: 시스템의 MiniTest 석영 창 누출 감지기의 진공 격막

유닛은 진공 연결 플랜지(1)를 사용하여 테스트할 시스템(6) 에 연결됩니다. 연결(3)은 추가 진공 펌프에 선택적으로 연 결될 수 있습니다. 누출 테스트를 준비하기 위하여 이 펌프는 차단 밸브(9)가 여전히 닫혀 있는 동안 유닛의 진공 시스템을 환기할 수 있습니다.

테스트를 위하여 차단 밸브(9)가 열립니다. 선택적인 펌프는 더 높은 시스템 압력에서 센서의 반응 시간을 감소시키는 기 체 흐름을 생성할 수 있습니다.

센서(2)는 진공 상태에서 헬륨의 분압을 측정합니다. 세스템 의 테스트 누츨(7)은 반응 시간을 결정하고 유닛을 보정하기 위하여 사용됩니다.

센서를 보호하고 강한 신호 후에 유닛을 제거하기 위하여 자 동 퍼징이 수행될 수 있습니다. 밸브(4)가 스로틀(5)과 함께 유입구를 열면 센서가 대기 공기와 함께 간단히 제거됩니다.

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