Vacuum Technology Book, Volume II

7.2.6 전체 누출 감지

전체 누출 감지는 전체 누출률 즉 테스트 표본의 모든 누출의 전체 누출률을 결정하기 위하여 사용됩니다. 여기서도 진공 방식과 스니핑 방식이 사용될 수 있습니다.

  스니핑 누출 감지 진공 누출 감지
방법 축적 테스트, 빠져나가는 테스
트 기체를 에워싸는 쉘 또는 챔버
에 수집
초과 압력 상태의 테스트 표본, 진 공실의 빠져나가는 테스트 기체 측정 진공 상태의 테스트 표본, 에워싸인 쉘에서 테스트 표본으로 빠져나가는 테스트 기체의 측정
기계적 강도 테스트 기체의 초과 압력에 대한 테스트 기체의 초과 압력에 대한 진공에 대한 외부로부터의 대기압 에 대한(차압 1000 hPa)
속도 느림 빠름 빠름
감지 한계 주로 > 1 · 10-5 Pa m3 s-1 < 5 · 10-13 Pa m3 s-1 < 5 · 10-13 Pa m3 s-1

표 7.2: 스니핑 방식과 진공 방식에 의한 전체 누출 감지

전체 진공 방식(DIN EN 1779를 따르는 방식 A1, Figure 7.7 오른쪽)에서는 테스트 표본(예: 진공 시스템)이 환기되고 주 변 공간이 제한된 양의 테스트 기체로 충진됩니다. 주변을 에 워싸는 것은 플라스틱 필름 또는 견고한 용기가 될 수 있습니 다. 누출 시 테스트 기체의 농도에 대한 결론이 나오도록 하 기 위하여 또 신뢰할 수 있는 정량적 결론에 도달할 수 있도 록 하기 위하여 테스트 표본이 제한된 양의 테스트 기체에 노 출되는 것이 중요합니다.

에워싸인 테스트 물체를 테스트(DIN EN 1779를 따르는 방 식 B6, 그림 7.7 왼쪽)할 때 테스트 표본은 헬륨으로 충진 되어 인케이싱 진공 용기 속에 놓여집니다. 빠져나가는 테스 트 기체는 누출 감지기에 의하여 확인되고 정량화됩니다.

진공 방식을 사용한 전체 누출 감지

그림 7.7: 진공 방식을 사용한 전체 누출 감지

스니핑 방식에서 테스트 표본은 테스트 기체(DIN EN 1779 를 따르는 방식 B3, 그림 7.8)로 충진되어 에워싸는 용기 속에 놓여집니다. 이전에 설명된 방식과는 반대로 이 용기는 환기를 필요로 하지 않고 대기압 상태에서 유지할 수 있습니 다. 이것은 이전에 설명된 방식에서처럼 덜 엄격한 요구조건 이 장치에 적용됨을 의미합니다. 빠져나가는 기체는 에워싸 는 쉘에 수집되어 테스트 기체의 균일한 농도가 분석 챔버에 존재한다는 것을 보장하기 위하여 테스트(예: 팬 사용) 동안 잘 혼합될 필요가 있습니다. 누출 감지기의 스니핑 프로브는 에워싸는 쉘에 수집된 테스트 표본으로부터 빠져나가는 테 스트 기체의 농도가 증가한다는 것을 결정하기 위하여 사용 됩니다. 이런 방식의 감지 한계는 에워싸는 쉘에서 불감 부 피의 테스트 기체 농도와 테스트 기체 농도의 추가 증가에 의하여 결정됩니다. 이것은 이 방식이 진공 상태 하의 전체 누출 감지 방식보다 상당히 느리고 이 방식의 사용이 일반 적으로 부품 처리량이 제한된 작은 기체 표본에 제한됨을 의미합니다.

스니핑 방식을 사용한 에워싸인 물체의 전체 누출 감지

그림 7.8: 스니핑 방식을 사용한 에워싸인 물체의 전체 누출 감지

테스트 기체를 사용한 누출 테스트 방식과 절차에 대한 상세 한 설명은 당사의 누출 감지 개요서에 포함되어 있습니다.

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