Pfeiffer Vacuum

7.2 추적 기체로 누출 감지

파이퍼 베큠은 추적 기체의 존재를 감지하기 위하여 질량 분 석기 와 석영 창 센서를 기초로 한 누출 감지기를 사용합니 다. 질량 분석기는 기체 혼합물을 이온화하고 그들의 질량 대 전하 비를 기초로 하여 원하는 추적 기체를 분리합니다. 석영 창 센서는 석영 멤브레인을 통한 가벼운 기체의 선택적 침투 를 기초로 합니다.