Vacuum Technology Book, Volume II

3.5.2 뷰포트

투시창은 공정 기간을 포함하여 진공실 내부 관찰에 기본적 으로 사용됩니다. 그러므로 해당 두께의 붕규산 유리가 일반 적으로 사용되고 탄성 중합체 실과 함께 투시 플랜지에 설치 됩니다(ISO-KF, ISO-K 및 ISO-F 뷰포트). UHV 어플리케이 션 및 고온인 경우, 유리는 금속화 및 납땜되고(용융 실리카 또는 사파이어 유리) 아니면 열 팽창을 보상하기 위하여 용접 립과 함께 용융됩니다(Kodial 유리). 이 유리는 투시 플랜지 의 용접 립에 용접 및 용접 밀봉됩니다. 장력을 최소화하려면 CF 뷰포트를 오직 담금질된 구리 실에 끼어 맞춰야 합니다. 또한 가열 및 냉각이 매끄러워야 하고 너무 빨라서는 안 됩니 다.

뷰포트가 전자기파의 전달에 사용될 경우 전송 범위와 광학 적 특징을 고려해야 합니다. 1인치 및 2인치 투시창에 FKM 개스킷을 가진 유리 홀더가 있어서 진공 플랜지에 광학 유리 를 설치할 수 있습니다. 뷰포트 셔터는 예를 들어 코팅 공정 동안 뷰포트의 요염을 방지하거나 줄입니다.

유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트

그림 3.19: 유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트

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