Pfeiffer Vacuum

3.5.2 뷰포트

투시창은 공정 기간을 포함하여 진공실 내부 관찰에 기본적 으로 사용됩니다. 그러므로 해당 두께의 붕규산 유리가 일반 적으로 사용되고 탄성 중합체 실과 함께 투시 플랜지에 설치 됩니다(ISO-KF, ISO-K 및 ISO-F 뷰포트). UHV 어플리케이 션 및 고온인 경우, 유리는 금속화 및 납땜되고(용융 실리카 또는 사파이어 유리) 아니면 열 팽창을 보상하기 위하여 용접 립과 함께 용융됩니다(Kodial 유리). 이 유리는 투시 플랜지 의 용접 립에 용접 및 용접 밀봉됩니다. 장력을 최소화하려면 CF 뷰포트를 오직 담금질된 구리 실에 끼어 맞춰야 합니다. 또한 가열 및 냉각이 매끄러워야 하고 너무 빨라서는 안 됩니 다.

뷰포트가 전자기파의 전달에 사용될 경우 전송 범위와 광학 적 특징을 고려해야 합니다. 1인치 및 2인치 투시창에 FKM 개스킷을 가진 유리 홀더가 있어서 진공 플랜지에 광학 유리 를 설치할 수 있습니다. 뷰포트 셔터는 예를 들어 코팅 공정 동안 뷰포트의 요염을 방지하거나 줄입니다.

유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트

그림 3.19: 유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트

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