Pfeiffer Vacuum

3.5.3 전기 피드스루

전기 피드스루 제작 시 중요한 요소는 사용할 전류 용량과 전 압 그리고 진공 기밀 및 온도 저항에 대하여 충족시켜야 할 요구조건입니다. 유기적 절연재가 있는 피드스루는 더 낮은 전압에서만 사용할 수 있습니다. 주형 수지 피드스루는 적당 한 전류 부하와 적당한 온도에 자주 사용됩니다. 절연 저항에 대해서는, 유리-금속 용단이 있는 피드스루가 전자 기기의 고 전압 및 약한 전류 피드스루에 적합합니다.

세라믹 절연이 있는 피드스루는 유리보다 더 큰 기계적 안정 성과 온도 저항을 제공합니다. 또한 세라믹(예: 알루미늄 산 화물)은 고전압에 적합한 절연 형태로도 제조될 수 있습니다. 이것은 세라믹 피드스루가 고전압 및 고성능 측면에서 유리 피드스루보다 더 뛰어난 이유입니다. 가장 엄격한 전기, 열 및 진공 기술 요구사항에 대해서는 견고한 금속-세라믹 연결 만을 고려해야 합니다.

일반적으로 더 높은 온도가 전기적 절연 효과를 줄이고 또 전 도체의 전류 용량을 줄인다는 사실을 고려해야 합니다. 달리 명시되지 않는 한 전기 데이터는 실온을 참조하십시오. 게다 가 최대 작동 전압은 1 · 10-4 hPa 미만의 진공에 적용됩니다. 더 높은 압력에서는 전압 차가 큰 전도체들간의 작은 이간 거 리가 기체 방전과 플래시오버를 이끌 수 있습니다. 1 · 10-3 hPa 사이의 취약한 압력 범위에서는 고전압 전도체들 사이에 적절한 이간 거리가 제공되어야 합니다. 그렇지 않으 면 이럴 경우에는 주형 수지로 채우거나 유리나 세라믹 파이 프로 만들어진 차폐를 사용하는 것이 유용할 수 있습니다.

전기 피드스루는 와이어 피드스루, 플러그가 한 개인 다중 피 드스루 또는 동축 커넥터가 있는 피드스루만큼 가용성이 있 습니다. 좁은 설치 장소에 높은 전압이나 전류 또는 많은 신 호 전압을 가진 전압을 전달하기 위한 특별한 변형들이 있습 니다.

구리로 만들어진 세라믹 절연 와이어 전도체가 있는 전기 피드스루

그림 3.20: 구리로 만들어진 세라믹 절연 와이어 전도체가 있는 전기 피드스루

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