Vacuum Technology Book, Volume II

3.2.1.3 알루미늄

알루미늄은 주로 저진공 및 고진공 범위에서, 보통은 합금으 로 사용되며, 특별한 경우에는 순수 알루미늄으로 사용되기 도 합니다. ISO-KF 파이프 구성품과 같은 구성품은 종종 재 작업된 플랜지 표면을 가진 주형 알루미늄 합금으로 만들어 집니다. 재료를 선택할 때는 수축성과 다공성을 고려해야 합 니다. 실링 링의 센터링 및 지지를 위하여 구성품은 바 스톡 으로 만들어집니다. 프로필 실 또는 와이어의 형태를 띤 금속 실의 경우엔 담금질된 알루미늄-실리콘 합금을 선호합니다.

알루미늄의 증기압은 낮고 660°C의 용융점에서 약 6 · 10-9 hPa입니다. 커다란 열 팽창, 높은 열 전도성 및 안정적 인 알루미늄 산화물 층이 알루미늄 용접을 어렵게 만듭니다. 커다란 뒤틀림과 결합하여 기공 및 균열을 형성할 위험이 있 습니다. 용접 전 균일한 가열이 이런 위험을 줄여줍니다. 하 지만 실제로 이것은 종종 가능하지 않습니다.

알루미늄은 자기화할 수 없습니다. 알루미늄 플랜지 연결은 경도가 종종 너무 낮기 때문에 금속 실링 UHV 연결에는 오 직 제한적으로만 사용할 수 있습니다. 알루미늄 베이스와 스 테인레스강 도금 또는 경화된 밀봉 표면이 있는 알루미늄 플 랜지로 구성된 특수한 바이메탈 플랜지가 개발되었지만, 이 들의 사용은 상대적으로 높은 가격, 위험한 가공성 또는 제한 된 응용 가능성으로 인해 종종 실패합니다.

이들의 마모 저항을 높이기 위하여(예: 정정실에서 사용 또는 방식을 높이기 위하여) 알루미늄 표면은 종종 산화처리됩니 다. 그 결과는 몇 μm의 두께, 즉 진공 어플리케이션에만 제한 적으로 적합한 기공성 산화물 층으로 나타납니다. 기체 분자 가 점점 이런 표면에 퇴적되어 높은 탈착률을 보입니다. 또한 표면 면적의 기체 분자가 실 아래로 구멍을 뚫어 누출을 만들 어냅니다. 여러 가지 양극 처리가 가능합니다. 양극 처리를 할 것인지 하지 않을 것인지와 양극 처리 시 어떤 방식을 사 용할 것인지를 결정할 때 제한을 고려해야 하고 이점과 단점 을 따져야 합니다.

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