Vacuum Technology Book, Volume II

3.6.4 게이트 밸브

위에서 설명한 밸브들은 명목 횡단면을 부분적으로만 개방 하는 반면, 게이트 밸브는 열림 위치에서 자유로운 통과를 제 공합니다. 낮은 설치 높이에서 높은 전도도를 이끌면서 고진 공 펌프를 사용하는 동안 요구되는 최소 성능이 손실됩니다.

대개 이중 설계로 된 밸브 판은 앞뒤로 움직여 이 밸브를 열 고 닫습니다. 닫힘 위치에서 두 요소는 구체에 의하여 밀봉 표면에서 떨어져 반대로 움직입니다. 밸브 게이트의 이동 방 향에 따라 리바운드 밸브, 셔틀 밸브, 회전 날개 밸브가 구별 됩니다. 대부분의 게이트 밸브는 특수한 설계 덕분에 밸브 판 위에서 0.1 MPa의 차압에 반하여 밀봉할 수 있지만, 밸브 판 위에서 낮은 차압이 존재하면 열 수만 있습니다.

UHV 게이트 밸브 UHV 게이트 밸브

그림 3.23: UHV 게이트 밸브

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