Vacuum Technology Book, Volume II

3.6.6 기체 도징 밸브와 기체 제어 밸브

기체 도징 밸브는 예를 들어 일정한 압력을 유지하거나 설정 하기 위하여 제한된 기체 흐름을 진공 시스템으로 유입시키 는데 사용됩니다. 이 밸브는 종종 니들 밸브의 원칙에 따라 작동합니다. 스핀들을 돌리면 틈이 벌어지고 이 구멍과 길이 가 흐름 전도도를 제공합니다. 기체 흐름은 스핀들 회전에 따 라 달라지며, 특징적인 곡선으로 표시됩니다. 밸브 위치는 눈 금으로 판독할 수 있으며 재생 가능하게 설정할 수 있습니다.

기체 제어 밸브는 모터 제어 가능 도징 또는 비례 밸브이고, 밸브 개구의 크기는 적용된 코일 전류와 함께 최대 구멍이 열 릴 때까지 계속 증가합니다. 코일 전류와 연관된 부피 흐름은 특징적인 곡선으로 설명됩니다. 제어 밸브는 제어 유닛에 의 해 작동하거나 외부 제어기에 의해 직접 제어됩니다. 제어 밸 브는 압력 또는 흐름 제어를 위한 자동 공정에서 사용됩니다.

UHV 조건에서 굉장히 낮은 유량률(예: 질량 분석기 어플리 케이션)일 때는 구을 수 있는 순금속 기체 도징 밸브와 금속 시트에 반하여 세라믹 판으로 밀봉하는 기체 제어 밸브가 있 습니다.

UHV 순금속 기체 도징 밸브

그림 3.24: UHV 순금속 기체 도징 밸브

이 웹 사이트는 당신이 우리의 웹 사이트에서 최고의 경험을 얻을 수 있도록 하기 위하여 쿠키를 사용합니다. 더 많은 정보