Pfeiffer Vacuum

3.3.2.5 COF 플랜지

COF 플랜지는 초고진공 호환 연결을 위한 커다란 명목 직경 에 사용됩니다. 구을 수 있고, 최대 약 1 · 10-12 hPa의 압력에 적합하고, 표준화되어 있지 않습니다. 그래서 다른 브랜드의 플랜지와 결합하면 호환성을 검사해야 합니다. 가능하면 주 조된 상태의 탄소 함량이 낮은 스테인레스강으로 주로 만들 어집니다.

COF 연결은 서로 다른 “수” 및 “암” 모양을 가진 한 쌍의 플 랜지, 한 개의 와이어 실, 요구되는 높은 접촉력을 제공하는 충분한 수의 나사로 구성됩니다(그림 3-16). 플랜지는 주 구 멍 축 주위에 일정한 간격으로 놓여 있는 구멍을 따라 정렬될 수 있습니다. 무산소 구리 OF(무산소)로 만들어진 용접된 와 이어 링은 밀봉재로 사용됩니다.

구리 와이어 실과 나사의 COF 연결

그림 3.16: 구리 와이어 실과 나사의 COF 연결

조립 시 실은 “수” 쪽의 첨단 부분에 단단히 삽입됩니다. 두 가지 모양의 밀봉 표면이 구리 링을 에워쌉니다. 첨단 부분에 서 밀어냄 현상이 일어납니다. 저온 흐름은 "수" 플랜지의 수 직 내부 벽에 의해 제한됩니다. 그래서 매우 높은 압력이 경 계 층에서 생성됩니다. 압력이 높아지면 미세 구조의 구리가 첨단 부위까지 조정되어 표면의 작은 결함을 채워 금속 초고 진공 밀폐 연결을 생성합니다. 전에 사용한 구리 와이어는 재 사용할 수 없습니다. 최대 약 1 · 10-8 hPa의 압력까지는 FKM 으로 만든 실을 사용할 수 있습니다. 이 실은 보통 재사용할 수 없지만 예를 들어 플랜지가 자주 장착될 경우(예: 시스템 을 평준화할 경우)엔 더 빠른 조립을 가능하게 해줍니다.

조립 시 어떤 식으로든 장력을 피하기 위하여 처음에 나사를 균일하게 정반대로 조여야 합니다. 그 다음에는 나사를 차례 차례 단계적으로 조금씩 구리가 초고진공 밀폐 방식으로 밀 봉 표면에 연결될 때까지 조입니다. 베이크 아웃 시 가열 및 냉각이 매끄럽고 너무 빠르게 수행되지 않는지 확인해야 합 니다. 플랜지 연결 시 온도 차이는 누출을 일으킬 수 있는 장 력을 유발합니다.