Pfeiffer Vacuum

3.7.3.2 XY-축 정밀 조작기의 설계 특징

XY 축 정밀 조작기의 설계는 매우 안정적인 설계가 특징이 며, 이는 중량, 크기, 안정성의 균형을 나타냅니다. 이것의 중 량 베어링 기본 구조는 비틀림 저항이며, 알루미늄 합금으로 만들어진 표면은 양극 산화 처리되어 오래 보호됩니다.

정밀 교차 롤러 베어링 가이드는 최대의 정밀도로 긴 수명을 보장합니다. 두 개의 축은 커다란 구동 드럼이 있어서 마이크 로미터 나사를 통하여 수동으로 작동됩니다. 이것은 눈금을 잘 판독할 수 있는 단순하고 인체공학적인 설정을 보장하고 그러므로 높은 해상도를 이끕니다.

벨로우즈 유닛 주위의 이간 거리는 가열 슬리브의 조립을 허 용하므로 균등하게 가열될 수 있습니다. 다시 말하면 벨로우 즈 유닛은 쉽게 교체가 가능합니다. 그래서 구성된 사이클 수 가 지난 후에 교환이 가능합니다.

XY-axis precision manipulator

그림 3.29: XY-축 정밀 조작기

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