Pfeiffer Vacuum

3.7.3.1 Z-축 정밀 조작기의 설계 특징

스핀들 구동 및 유도를 갖춘 재순환 볼 시스템의 사용은 일반 사다리꼴 및 미터법 나사 구동 또는 슬라이딩 유도에 대해 여 러 가지 중요한 이점이 있습니다. 재순환 볼 시스템은 마찰력 이 낮기 때문에 효율성이 높고 명목 직경이 크기 때문에 특히 선호됩니다. 외부 부하가 높음에도 불구하고(환기 상태에서 압력 차이) 중간 작동 힘으로 편안한 이동 조정이 가능합니 다. 앞에서 설명한 스틱 슬립 효과가 없으므로 매우 세밀한 해상도를 사용 가능하고, 작동을 어렵게 만들고 특히 모터 구 동에 부정적인 영향을 주는 박리 토크가 일어나지 않습니다. 모터를 지원하는 속 기어는 여기서 필요하지 않습니다. 다른 이점은 무척 낮은 마모 수준입니다. 그리스의 오염을 이끌지 않는 깨끗한 환경에서는 고품질 장기 고온 그리스로 구성된 정품 윤활이 실제로 무한정 지속되므로 정비가 필요하지 않 습니다.

굴곡에 저항하는 가이드 바디는 정밀도에 중요한 영향을 줍 니다. 스테인레스강으로 만들어진 안정적인 U-모양의 선택 은 저급 재료 사용 및 관련 중량으로 더 큰 강직성을 유발합 니다. U-모양 내부에서는 가이드 레일이 튼튼한 후면 판에 나 사로 고정됩니다. 지지대가 없어 움직임이 자유로운 샤프트 가이드와 비교할 때 프로필 레일은 무거운 부하를 받으면서 도 전체 이동 범위에서 모든 공간 축을 따라 정밀한 조정을 수행하는 낮은 변형 구조를 갖습니다.

벨로우즈 유닛은 일반적으로 총 10,000 사이클의 이동 사용 을 위하여 설계됩니다. 벨로우즈의 교환 가능성은 고품질 가 이드 및 구동 바디를 가진 조작기가 여전히 사용될 수 있음을 보장합니다.

Z-축 정밀 조작기

그림 3.28: Z-축 정밀 조작기

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