Vacuum Technology Book, Volume II

3.7.1.1 격막 벨로우즈 밀봉 평행이동

멤브레인 벨로우즈는 함께 용접된 개별 판으로 만들어집니 다. 탄성률이 작기 때문에 축 방향 확장이 무척 유연합니다. 벨로우즈는 용접 밀봉 금속 인클로저이며, 가장 높은 UHV 요구조건에 적합합니다.

벨로우즈의 선택과 설계는 요구되는 이동 업무에 따르며, 고 려해야 할 작동 조건은 사용 수명(이동 사이클의 수), 작동 온도, 베이크 아웃 온도, 차압입니다. 수명은 재료 316L로 만 들어진 멤브레인이 최대 50만 사이클, 더 탄성이 있지만 자 기화 가능 재료 350AM인 경우는 최대 1,000만 이동 사이클 입니다.

지정된 사이클 수 이내의 멤브레인 벨로우즈는 정비가 필요 없습니다. 계산된 동작 사이클에 도달한 후에는 교체되어야 합니다. 먼지 및 분진 환경에는 적합하지 않습니다.

멤브레인 벨로우즈는 Z-축, XY-축 및 XYZ-축 정밀 조작기, 포트 얼라이너, 벨로우즈 밀봉 회전 피드스루에 사용됩니다.

격막 벨로우즈가 있는 유닛을 베이크 아웃할 때는 균일한 가 열을 확인하는 것이 중요합니다. 격막 벨로우즈 위에 여러 개 의 히터가 있으면 안 됩니다. 히터는 강한 국부적 가열을 이 끕니다. 왜냐하면 격막 벨로우즈는 질량이 낮고 열 전도를 위 해 공간이 작기 때문입니다. 온도 제어 가열 슬리브가 더 좋 고 더 정교한 대안입니다.

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